[发明专利]晶片搬运装置无效
| 申请号： | 98801545.5 | 申请日： | 1998-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN1150119C | 公开（公告）日： | 2004-05-19 |
| 发明（设计）人： | 加藤智生;木村桂司 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯光学工业株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;B65G1/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶片 搬运 装置 | ||
【说明书】：
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