[实用新型]测量用衍射器

说明书

本实用新型属于测量仪器的附件，主要提出一种测量用衍射器。其可同万能工具显微镜和大型工具显微镜配套，利用“双光束干涉测量法”对各种精密零件、圆柱圆锥量规、刀具等进行精密测量。

现在利用万能工具显微镜进行测量的方法和缺点是：

1、影象法，此法简单方便、迅速，一般适于公差较大的零件或量规，其缺点是误差太大(如测量平面零件误差±(5～9)微米，测量圆柱类零件时误差均为±(7～10)微米；测量螺纹中径时，误差为±10微米左右)。

2、轴切法：一般是用两只测量刀的刀刃和被测零件进行无间隙的接触，同时利用测量刀的上表面所刻的细刻线进行瞄准，再进行其尺寸的测量。该法较影象法测量精度稍高。存在的缺点是测量效率较低，不能测量凹表面的尺寸，另外对测量刀要求较严，且测量刀容易磨损。

3、同心平行照明干涉测量法：其实质是缩小仪器内部可变光栏孔径，使得在被测表面附近产生干涉条纹来代替测量刀上面剖线的一种测量方法。但其局限性较大，只能测量角度、螺距等。

本实用新型提出的目的即在于提高测量精度和效率，并使其具有结构简单、装调方便的特点，从而克服现在测量方法所存在的不足。

本实用新型完成其发明任务所采取的技术方案是：其根据惠更斯新光源理论以及罗埃镜的光束转折关系和光线叠加干涉原理而设计；用于万能工具显微镜测量时，能在表面附近形成一族相互平行的干涉条纹，加在测量备种直径大小不同的圆柱轴件时，这些条纹到被测圆柱表面的距离都是恒定的，因此可用于更高精度的测量工作。

本实用新型提出的技术结构为：衍射器的圆形座体上部开置有通光孔，通光孔下部的孔、槽内设置有叠加在一起的滤光片、衍射片和防尘片，衍射片上开置有圆形或长方形的衍射孔。

通光孔可为一个并设置在座体上部的中心位置，衍射片上具有两个或多个圆形衍射孔。

通光孔可为两个并对称于圆形座体中心，两个衍射片上均具有一个长方形衍射孔。

两个衍射孔的间距为2-36mm。

本实用新型衍射器在万能工具显微镜上的应用：

1、安装：用手端正的将衍射器直接盖放在下照明座上即可。

2、调节：边从镜头中观察，边用手移动衍射器，直到能看到衍射器中出现的凹锥形阴影与镜头中米字线上、下、左、右对称为止。

例：圆柱直径测量过程：

将已擦洗干净的被测轴件顶在仪器的顶尖中，再转动横向移动手轮，使被测轴面移至米字线的水平线附近。转动升降手轮，观察干涉条的移动，当干涉条之移动出现反向移动的一刹那时，立即停止转动升降手轮。以下读数与算法省略。

附图1为本实用新型实施例1结构示意图。

附图2为本实用新型实施例2结构示意图。

参照附图给出的实施例对其结构加以进一步说明：

实施例1，如附图1所示：衍射器的圆形座体3上部具有通光孔6(通光孔为圆形)，其位于圆形座体上部的中心位置，通光孔6下部的孔内叠放有滤光片1、衍射片3、防尘片5；底部用扣紧环4将它们固紧在座体的孔内。衍射片2上开置有两个圆形衍射孔。

实施例2，如附图3所示：衍射器的圆形座体3上具有两个通光孔6并对称于座体中心(通光孔为长方形)，每个通光孔下部的槽内叠放有滤光片1、衍射片2和防尘片5，底部用扣紧环4将它们固紧在座体的槽内。每个衍射片上均开置有一个长方形的衍射孔。

图中7为座体上开置的盲孔，用于减轻整个衍射器体的重量并保证上平面的平直。

本实用新型中，两个衍射孔之间的距离为2-36mm。