[实用新型]具有高灵敏探头的高分辨磁性旋转编码器

权利要求书

1、一种具有高灵敏探头的高分辩磁性旋转编码器，由磁鼓和探头构成，其特征在于编码器探头由刻蚀在一个绝缘衬底上具有一定图形结构的多个磁电阻元件构成，磁电阻元件间隔排列并相互形成桥式电路。

2、根据权利要求1所述的具有高灵敏探头的高分辩磁性旋转编码器，其特征在于磁电阻元件是用具有巨磁电阻效应的磁性自旋阀多层薄膜材料经微电子工艺加工而成。

3、根据权利要求1所述的具有高灵敏探头的高分辨磁性旋转编码器，其特征在于磁电阻元件具有反铁磁层/铁磁层/非磁层/铁磁层结构。