[发明专利]薄板状工件的热处理装置无效
| 申请号： | 98120856.8 | 申请日： | 1998-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN1106046C | 公开（公告）日： | 2003-04-16 |
| 发明（设计）人： | 原田隆之 | 申请（专利权）人： | 速睦喜股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L35/00 | 分类号： | H01L35/00;C30B33/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄板 工件 热处理 装置 | ||
【说明书】：
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