[发明专利]双卷体干式涡卷真空泵

权利要求书

1.一种双卷体干式涡卷真空泵，由旋转涡卷、一对固定涡卷、以及驱动轴构成真空泵本体，该旋转涡卷在两面具有涡旋状卷体，该一对固定涡卷具有嵌合到上述卷体的涡旋状卷体，并从两面夹持上述旋转涡卷，该驱动轴贯通上述一对固定涡卷中央部地进行配置，并且，该驱动轴可驱动上述旋转涡卷的中央部分；其特征在于：

上述泵本体还具有：

吸入口，可连通到要形成为真空的容器，

排出口，用于将通过由上述旋转及固定涡卷形成的密闭空间的缩小动作压缩的卷体压缩气体排出到上述泵本体外，

一对包围体，分别覆盖上述驱动轴的两端部位，均以气密状态分别安装于上述固定涡卷的两端，

压缩气体导入口，用于将与上述卷体压缩气体一起从上述排出口排出的、其压力大于上述卷体压缩气体压力的压缩气体供给到上述包围体，

非接触传递装置，用于将驱动源来的回转力传递到上述驱动轴，

除上述吸入口、排出口以及压缩气体导入口之外都构成为气密状态。

2.如权利要求1所述的双卷体干式涡卷真空泵，其特征在于：上述非接触传递装置从上述驱动源通过磁联轴节与上述驱动轴间接接合。

3.如权利要求1所述的双卷体干式涡卷真空泵，其特征在于：上述泵本体内的至少滑动接触部分由金属类构件构成。

4.如权利要求1所述的双卷体干式涡卷真空泵，其特征在于：上述涡旋状卷体的前端通过由金属类低摩擦材料构成的端部密封构件与对方镜面滑动接触。

5.如权利要求1所述的双卷体干式涡卷真空泵，其特征在于：上述驱动轴及旋转涡卷可通过干式轴承转动。

6.如权利要求1所述的双卷体干式涡卷真空泵，其特征在于：上述驱动轴可通过非接触轴承回转。

7.如权利要求1所述的双卷体干式涡卷真空泵，其特征在于：上述驱动轴可通过依靠从上述压缩气体导入口供给的压缩气体而动作的气体轴承回转。

8.如权利要求1或7所述的双卷体干式涡卷真空泵，其特征在于：上述驱动轴的内部设有从上述压缩气体导入口供来的压缩气体流通的冷却用通路，并且上述冷却用通路与将卷体压缩气体排出到泵本体外的排出口相通，该卷体压缩气体由旋转及固定涡卷所形成的密闭空间的缩小动作被压缩。

9.如权利要求1所述的双卷体干式涡卷真空泵，其特征在于：在上述固定涡卷外面形成冷却水循环通路，并设置将冷却水供给到上述冷却水循环通道的冷却水循环冷却装置。

10.如权利要求1所述的双卷体干式涡卷真空泵，其特征在于：在上述旋转涡卷的端板设置使该端板一方的上述密封空间与另一方的上述密封空间相互连通的贯通孔。

11.如权利要求10所述的双卷体干式涡卷真空泵，其特征在于：上述贯通孔设在旋转涡卷中央部附近的上述端板上。

12.如权利要求1所述的双卷体干式涡卷真空泵，其特征在于：上述旋转涡卷与固定涡卷形成有可进行黑体辐射的氧化皮。