[发明专利]一种径向渐变滤光镜的制作方法

说明书

本发明涉及于光学滤光镜片的制作方法。

物镜视场角大的光学仪器其像面的照度非常不均匀，尤其在放大系统中更是如此。一般都采用面光源来解决照度的均匀性，但又带来了整个光学仪器体积庞大、重量重、携带十分不方便、而且造价高等一系列不足之处，尤其是在光学仪器对重量体积有限制的条件下，采用面光源则无法满足要求。虽然点光源能引起照度的不均性，但其却能使光学仪器的体积缩小、重量减轻、造价降低。

本发明的目的在于提供一种能够使点光源的照度均匀，制作径向渐变滤光镜的方法。

本发明的解决技术方案是这样完成的，径向渐变滤光镜的制作方法如下，首先要求将镀膜材料的蒸发与镜片衬底用隔板隔开，在隔板中部开有蒸镀小孔，并使镜片衬底的中心对准蒸镀小孔，在抽真空后，蒸镀材料即通过蒸镀小孔冲击在衬底的中心表层，并往边部渐渐扩散，随着积累自然就形成了中心厚边部薄的膜层。

由于本发明用真空蒸镀的方法制作滤光镜的滤光膜层，制作出的径向渐变滤光镜能够使点光源光线经过径向渐变滤光镜后强度变为一致，解决了点光源照度不均匀的问题，从而能使光学仪器的体积缩小、重量减轻、造价降低。

下面将结合附图对本发明制作径向渐变滤光镜的方法作以详细说明：

图1为利用本发明制作的径向渐变滤光镜的结构示意图，图中1为滤光镜片衬底，2为滤光膜层。

本发明的径向渐变滤光镜制作方法如下，首先要求将镀膜材料的蒸发源与镜片衬底用隔板隔开，在隔板中部开有蒸镀小孔，并使镜片衬底的中心对准蒸镀小孔，在抽真空后，蒸镀材料通过蒸镀小孔冲击在衬底的中心表层，并且往边部渐渐扩散，随着积累自然就形成了中心厚边部薄的膜层；若将衬底沿中心旋转隔板横向来回移动其蒸镀的膜层效果会更好。

本发明所制作出的径向渐变滤光镜是用于放置在光学仪器的物镜前，当然在制作过程中，其材料的纯度、材料的蒸发速度镜片衬底的旋转速度、真空度的大小，以及衬底温度的选择都非常重要，当发生上述变化时，应对开孔隔板的形状进行修正，通常其采用的是当蒸发速率稳定，衬底旋转稳定，真空度在2×10^-5μ的条件下，成膜的厚度d与衬底暴露的时间才呈正比：d∝t，当光强＝1时，光损失(反射率R+吸收率A)，造光率T是互补的，(R+A)+T＝1。

假设半径为4mm在360°范围内是一层均匀厚的膜，其造光率为50％，即光损失为50％，此时，隔板的开角Q＝360°，隔板角Q₂＝0°作为标准来控制膜层的厚度，根据光损失与开角呈正比(R+A)∝Q，以不同半径上的造光率计算出不同半径上的隔板角。