[发明专利]超净空气的制造方法无效
| 申请号： | 98103760.7 | 申请日： | 1998-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN1091627C | 公开（公告）日： | 2002-10-02 |
| 发明（设计）人： | 水野全;多田益太;山崎纪男;福本隼明 | 申请（专利权）人： | 大阳东洋酸素株式会社;三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | B01D53/02 | 分类号： | B01D53/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 钟守期 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 净空 制造 方法 | ||
1.超净空气的制造方法，其特征是，在-40℃～-180℃的处理温度下用吸附剂对从大气中获取的原料空气进行低温吸附处理，从原料空气中吸附、除去其中所含有的除了氮、氧、稀有气体以外的化学成分。
2.权利要求1所述的超净空气的制造方法，其特征是，通过对原料空气进行低温吸附处理，得到露点为-40℃～-120℃的超净空气。
3.权利要求1所述的超净空气的制造方法，其特征是，通过对原料空气进行低温吸附处理，得到化学成分的浓度在1ppb以下且露点为-100℃以下的超净空气。
4.权利要求1、2或3所述的超净空气的制造方法，其特征是，将化学成分分为若干个凝固温度相近的化学成分组，并将低温吸附处理过程分为数目与化学成分组数相当的若干个吸附工序，各工序的处理温度设定为比各化学成分组的凝固温度范围稍高一些的温度，按照处理温度由高到低依次进行这些吸附工序，这样，就可以按照凝固温度范围由高到低、分阶段地吸附、除去每一化学成分组。
5.权利要求1所述的超净空气的制造方法，其特征是，使用在-40℃～-180℃温度条件下可以优先选择性吸附氮的吸附剂作为吸附剂。
6.权利要求1所述的超净空气的制造方法，其特征是，在低温吸附处理之前先进行前处理，至少除去原料空气化学成分中的二氧化碳和水分。
7.权利要求1所述的超净空气的制造方法，其特征是，用膨胀机使经过低温吸附处理的空气的一部分膨胀，用来作为低温吸附处理用冷源。
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