[发明专利]具有非牛顿流体行为的组合物及其应用无效
| 申请号： | 98102158.1 | 申请日： | 1998-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN1236000A | 公开（公告）日： | 1999-11-24 |
| 发明（设计）人： | 蔡明雄;陈丽梅;叶宇钦;谢秋枝;陈盈淙 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院;长春石油化学股份有限公司;中国钢铁股份有限公司;联成石油化学股份有限公司;真茂企业股份有限公司;中国石油化学工业开发股份有限公司;华宏新技股份有限公司;长兴化学工业股份有限公司;中国石油股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 隆天国际专利商标代理有限公司 | 代理人： | 潘培坤 |
| 地址： | 台湾省新竹县*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 牛顿 流体 行为 组合 及其 应用 | ||
1．一种研磨组合物，包括：以重量计，
100份的水；
0.5-20份的AlOOH水合物；
1-50份的三氧化二铝；以及
1-20份的酸性溶液。
2．如权利要求1所述的研磨组合物，其特征在于其中三氧化二铝选自α相三氧化二铝，θ相三氧化二铝，δ相三氧化二铝，γ相三氧化二铝及其二种或多种混合物。
3．如权利要求1所述的研磨组合物，其特征在于其中三氧化二铝为具有比表面积从5米2/克-350米2/克且一次粒径小于0.5微米的粉体。
4．如权利要求3所述的研磨组合物，其特征在于其中三氧化二铝粉体为球型。
5．如权利要求3所述的研磨组合物，其特征在于中三氧化二铝粉体为棒型。
6．如权利要求3所述的研磨组合物，其特征在于其中三氧化二铝粉体为不规则形状。
7．如权利要求3所述的研磨组合物，其特征在于其中三氧化二铝粉体为球型、棒型、不规则型的任二种或以上的混合物。
8．如权利要求1所述的研磨组合物，其特征在于其中酸性溶液选自硝酸，盐酸，醋酸，硫酸，磷酸及其二种或多种混合酸。
9．如权利要求1所述的研磨组合物，其特征在于其具有0.5-4的pH值。
10．如权利要求1所述的研磨组合物，其特征在于其包括以重量计1-7份的AlOOH水合物。
11．如权利要求1所述的研磨组合物，其特征在于其包括以重量计1-20份的三氧化二铝。
12．如权利要求1所述的研磨组合物，其特征在于其包括以重量计1-5重量份之酸性溶液。
13．如权利要求1所述的研磨组合物，其特征在于其中AlOOH水合物为勃姆石(Boehmite)。
14．如权利要求1所述的研磨组合物，其特征在于其中AlOOH水合物为铝的氢氧化物。
15．如权利要求1所述的研磨组合物，其特征在于其中AlOOH水合物为假勃姆石(Boehmite)。
16．如权利要求1所述的研磨组合物，其特征在于其中AlOOH水合物为勃姆石(Boehmite)，铝的氢氧化物及假勃姆石(Boehmite)中任二者或以上的混合物。
17．一种权利要求1所述的研磨组合物作为研磨液在半导体元件光整加工中的应用。
18．一种权利要求1所述的研磨组合物作为研磨液在精密玻璃加工中的应用。
19．一种权利要求1所述研磨组合物作为研磨液在金属薄膜加工中的应用。
20．一种权利要求1所述研磨组合物作为研磨液在精密陶瓷加工中的应用。
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