[发明专利]磁头装置及其变位支点的制造方法

说明书

本发明涉及装在硬盘装置等上的上浮式磁头装置，特别涉及一种能使形成在支承磁头本体的支承部件上的相接部(支点)简单地构成，并且，高精度地形成该相接部，使磁头本体的上浮姿势稳定的磁头装置及其变位支点的制造方法。

图8是现有技术中的硬盘装置所用的磁头装置的平面图。图9是其局部侧面图。

该磁头装置，由磁头本体1和支承它的支承部件2构成。

磁头本体1具有与硬盘等的盘D相向的滑块3，该滑块3的尾侧Y端面上设有薄膜元件。滑块3用陶瓷材料等形成。上述薄膜元件4具有MR头(读出头)和感应头(写入头)。MR头利用磁阻效应检测从硬盘等记录媒体泄漏的磁场，读出磁信号。感应头由线圈等形成。

支承部件2由承载杆5和挠性片6构成。

承载杆5由板簧材料形成。从中间位置到前部，在两侧部形成弯折部5a，5a，该部分成为具有刚性的构造。承载杆5的基端部可发挥预定的弹性推压力。挟在弯折部5a，5a之间的平坦部5b的前端附近，形成朝图示下方突出的球面状支点7。磁头本体1通过后述的挠性片6与该支点7相连。在承载杆5的平坦部5b上，形成对准挠性片6位置的定位孔8。

挠性片6由薄板簧形成，该挠性片6由固定部6a、舌片6b和连接部6c构成。如图8所示，在固定部6a形成定位孔9，该定位孔9和形成在承载杆5上的定位孔8对准位置后，固定部6a通过点焊等方式固定在承载杆5的下面。在挠性片6的前端部形成切口，由该切口分离的部分是舌片6b和连接部6c，在连接部6c上形成台阶部6d，舌片6b位于固定部6a下侧。舌片6b的上面与形成在承载杆5上的支点7相接，粘接固定在该舌片6b下面的磁头本体1，借助于舌片6b的弹性能以支点7的顶点为支点自由地改变姿势。

磁头装置的磁头本体1，被承载杆5基端部的弹性力往盘D方向推。该磁头装置用于所谓的CSS(接触·起动·停止)方式的硬盘装置等，在盘D停止着时，上述弹性力使磁头本体1的下面与盘D的记录面接触。当盘D起动时，空气流沿着盘的移动方向导入磁头本体1与盘D表面之间，磁头本体1的下面受到空气流的上浮力，磁头本体1从盘D表面上浮较短的距离δ3(间隙)。

在该上浮姿势，如图9所示，磁头本体1的读取侧X比尾侧Y从盘D抬起得高而成为倾斜的上浮姿势。在该上浮姿势，由薄膜元件4的MR头读取盘的磁信号，或者由感应头写入磁信号。

形成在承载杆5上的支点7，是用图10所示的由冲头10和冲模11构成的冲压机械形成的。冲头10的底部呈球面状突出的形状。与冲头10相向位置的冲模11的上面，形成球面状凹坑。承载杆5放在冲模11上，冲头10向图示下方移动，冲头10将承载杆5压入形成在冲模11上的球面状凹坑内，这样，在承载杆5上形成球面状的支点7。

支点7的其它形成方法，例如有图11A所示例。图11A所示的冲头10与图10所示冲头10是同样的形状。但是在图11A所示冲模11上，与冲头10相对的位置处设有圆筒形孔部11a，图10和图11A中的冲模11的形状不同。图11A也与图10同样地，将承载杆5放在冲模11上，用冲头10将承载杆5往图示下方推压，在承载杆5上形成支点7。

但是，图10和图11A所示的冲压机械，冲头10的底部顶点A和形成在冲模11上的球面状凹坑的顶点B有时(图11A中是孔部11a的中心线L)不在同一垂直线M上，而错开宽度T1，T2的位置。如果用这样偏位的冲压机械在承载杆5上形成支点7，则形成在支点7内侧的球面状顶点C与形成在外侧的球面状顶点B，会产生宽度T1的偏位(用图10所示冲压机械时)或宽度T2的偏位(用图11A所示冲压机械时)，这样，如图所示，使支点7的层厚不均匀。因此，必须尽量减小偏位宽度T1，T2，但一般的冲压加工装置中，冲头10侧的顶点A与冲模11侧的顶点B(图11A中是孔部11a的中心线L)的偏位宽度T1，T2，不可避免地要有50微米的公差。

另外，图10所示的冲压机械中，冲模11侧顶点B的位置，由于金属模具的加工误差，实际上比应形成的顶点可能会错开约5至10微米的公差。因此，图10所示的冲压机械，支点7外侧的顶点B与内侧顶点C之间的公差上的偏位宽度T1，最大能达到60微米。

另外，用图11A所示冲压机械形成的支点7的外侧，如图11B所示，有结晶粒突出，支点7顶点B的附近成为凹凸形状。由于该结晶粒的突出，支点7外侧的顶点B更加错开宽度T3(约10至30微米)。这样，支点7外侧的顶点B与支点内侧的顶点C之间错开的宽度最大达80微米。

支点7外侧的顶点B与内侧顶点C错开，会引起以下问题。