[实用新型]快速退火装置无效
申请号: | 97209801.1 | 申请日: | 1997-01-03 |
公开(公告)号: | CN2298265Y | 公开(公告)日: | 1998-11-25 |
发明(设计)人: | 杨盛笔 | 申请(专利权)人: | 杨盛笔 |
主分类号: | C30B33/02 | 分类号: | C30B33/02;C30B35/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 陈海红 |
地址: | 台湾省云林县*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 快速 退火 装置 | ||
1.一种快速退火装置,其特征在于包括:
一外壳,以维持一密封的反应室;
一样品置放装置,用以置放一待退火的样品;
一加热装置,利用一加热源产生热能,以对该样品加热;
一冷却装置,利用一冷却手段以使该样品降温;
一加压装置,利用控制至少一气体进出阀,以使该反应室维持于所需的压力;
一传送装置,利用一与反应室外隔绝的功力传送手段,可将该样品置放装置移近、移入、及移离该加热装置;及
一控制装置,用以控制该加热装置、冷却装置、加压装置及传送装置。
2.按照权利要求1的一种快速退火装置,其特征在于该加热装置系包括选自碳化矽、氮化硼、钨或石墨中的至少一种作为加热材料。
3.按照权利要求1的一种快速退火装置,其特征在于该冷却装置所利用的冷却手段系冷却气体。
4.按照权利要求1的一种快速退火装置,其特征在于该冷却装置所利用的冷却手段系冷却液体。
5.按照权利要求1、2、3或4的一种快速退火装置,其特征在于另包括一反射板,以将加热装置产生的热能集中在该加热装置附近。
6.按照权利要求1、2、3或4的一种快速退火装置,其特征在于该传送装置包括:
二马达,设于该外壳之外;
二导引接头,以将该马达的功率传送至该外壳内的机构;
一螺丝连杆,连结一导引接头,并利用一马达的功率,控制该样品置放装置的水平移动;及
二传动缆线,连接于另一导引接头,以另一马达的功率控制该样品置放装置的垂直移动。
7.按照权利要求1、2、3或4的一种快速退火装置,其特征在于其中该样品置放装置系一云母材料制成的空槽,且其上盖的下方涂有反射金属层。
8.按照权利要求1、2、3或4的一种快速退火装置,其特征在于其中该样品置放装置系一石英材料制成的空槽,且其上盖的下方涂有反射金属层。
9.按照权利要求1、2、3或4的一种快速退火装置,其特征在于其中该样品置放装置系一耐高温金属材料制成的空槽,且其上盖的下方涂有反射金属层。
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