[实用新型]一种组合式阀门

说明书

本实用新型提供一种机械部件，具体地说是提供一种组合式阀门，这种阀门特别适用于作超纯气体终端净化器的阀门配件。

随着科学技术的发展，在大规模集成电路、石油化工、金属冶炼、航天、科研等诸多领域对气体纯度的要求愈来愈高，目前一次性制气纯度远远不能满足需要。其主要原因是在气体输送过程中由于容器的污染及阀门、管道的渗漏所造成的。因此，在气体进入生产之前，必须进行终端净化。例如在连续吸附法，气体分离或净化装置中，由于吸附剂(例如制氧/氮过程中的分子筛、碳分子筛，或化学吸附剂用于脱氧、脱水等)需要再生，因而需多个阀门用于吸附器、反应器之间的切换操作。有人研究、发明了组合多换向阀门用于制氧或制氮装置中(CN87202629U)，这类阀门缺少可靠的隔离及预防空气渗漏措施，只能用于一般要求的气体分离设备中。如果用于超纯气体净化中，则它们的隔离及预防空气渗漏措施不足以防止原料气或外部空气向产品器的扩散或渗漏。对于超纯气体的净化只要有微量渗漏就会造成致命的污染。在组合多路换向阀门中，这种渗漏更难避免，而且会随着阀门使用磨损日益加剧。在实际应用中也常使用一种分立式阀门，如附图1所示是将4个阀门组合装配，但使用这种阀门管道安装工作量大，管道接头(或焊缝)多，并需使用三通联接，使分立式配置的阀门之间气路距离长，易造成气路死角，超纯气的质量不易提高，同时气密性能也难于保持。因此，在制备超纯气体的过程中需要有一种气密性高，不易造成气路死角，且动作可靠性强的组合阀门配件。

本实有新型的目的是提供一种性能优异的组合式阀门，由于这种组合阀门可最短的缩小阀门间距离，不易造成气路死角，气密性高，且操作灵活方便，所以特别适于作超纯气体终端净化器的组合阀门配件。

本实用新型的组合式阀门是由4个分立式阀门组合而成，其特征在于4个阀门组装一个公用组合阀体上，在组合阀体中设有道道使4个阀门串联成闭合通路，且在每相邻两阀门的通道中设置一通道接头。下面结合附图对本实用新型组合阀门的结构给予进一步的说明。

附图1为普通4个分立式阀门组合装配的流程图；

附图2为本实用新型组合阀门的结构示意图；

附图3为本实用新型组合阀门使用的流程图。

附图中，1～4阀主件，5．组合阀体；6．阀体通道；7．通道接头。

附图2所示结构的组合阀门可作为本实用新型的一个实施例，它由4个阀主件(1)～(4)，组合阀体(5)，阀体通道(6)和4个通道接头(7)组成，阀主件(1)～(4)组装在一个组合阀体(5)上构成分立的4个阀门，阀体通道(6)将4个阀门串联成闭合通路，在每相邻两阀门通道中设置一通道接头(7)，组合阀门共4个通道接头(7)。附图3为上述阀门的使用情况，与附图1分立式阀门组合装配流程相比本实用新型组合阀门只有4个外接气路即可组装在净化器的系统中。

本实用新型的组合阀门当阀主件采用气动式阀门，装配成组合气动阀门用于北京大学微电子研究所制25NM³/小时，全自动氮气终端净化器上作配件，其技术指标要求氮气99.99％净化后达到99.99％高纯气及用于辽宁发电厂制10NM³/小时全自动氢气终端净化器上，其技术指标要求氢气由99.8％净化后达到99/99％纯氢。在上述设备上长期使用，不论设备的保压试验，阀门的气密性及动作的可靠性均达到技术要求。

本实用新型与普通分立式组合阀及已知组合阀相比具有如下显著的优点：

(1)结构紧凑，气密性高，动作可靠，气路中不易造成死角；

(2)设备造价低，配装简单，简化了设备工艺流程；

(3)各分阀门在动作上完全互相独立，可根据工艺要求自由切换。因此，本实用新型的组合阀门可以实现多路切换，特别是用于作为超纯气体终端净化器的阀门配件，可提高制气的效果和质量。