[发明专利]离子喷镀装置无效
| 申请号： | 97198505.7 | 申请日： | 1997-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN1149303C | 公开（公告）日： | 2004-05-12 |
| 发明（设计）人： | 酒见俊之;田中胜 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;H01L21/203 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子 装置 | ||
【说明书】：
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