[发明专利]光刻胶组合物用的水性抗反射涂料

权利要求书

1．一种用于光至平版印刷的水性抗反射涂料组合物，包括水和聚合物，聚合物含有：

a)至少一种有以下结构的染料单元，其中R₁-R₄是H,(C₁-C₄)烷基或(C₁-C₄)烷氧基，

R₅是OH,NH₂,OCH₃或OCH₂CH₃,

R₆是H,(C₁-C₄)烷基或(C₁-C₄)烷氧基，

R₇是H,(C₁-C₄)烷基或(C₁-C₄)烷氧基或硝基，

R₈是硝基，SONH₂,COOY,SO₃Y且这里的Y是H，碱金属，铵或烷基铵，

X是一个共轭部分，如N=N,CZ=CZ,CZ=N,N=CZ，这里的Z是H,(C₁-C₄)烷基或(C₁-C₄)烷氧基，

m=1-3,n=1-4；

b)至少一种有以下结构的单元：

其中R₁-R₄是H,(C₁-C₄)烷基或(C₁-C₄)烷氧基且Y含有一种交联基团；和

c)至少一种亲水乙烯基单体或能够变成亲水乙烯基单体衍生的单元。

2．根据权利要求1的组合物，其中亲水乙烯基单体的结构如下：其中R₁-R₃是H,(C₁-C₄)烷基或(C₁-C₄)烷氧基且W是亲水基团。

3．根据权利要求2的组合物，其中亲水基团选自O-(CH₂)₂-O-(CH₂)-OH,O-(CH₂)₂-OH,(CH₂)n-OH(n=1-4),COO(C₁-C₄)烷基，COOX,SO₃X(X是H，碱金属，铵或烷基铵)，和CONHCH₂OH。

4．根据权利要求1的组合物，其中亲水乙烯基单体选自马来酸酐，富马酸酐，乙烯基吡啶和乙烯基吡咯烷酮。

5．根据权利要求1的组合物，其中交联基团选自碳化二亚胺，异氰酸酯，嵌段异氰酸酯，甲基丙烯酸缩水甘油酯，烷醇基丙酰酰胺，烷醇基甲基丙酰酰胺，和丙酰酰氨基乙醇酸甲酯。

6．根据权利要求1的组合物，其中染料单元的X是偶氮基团。

7．根据权利要求1所组合物，进一步包括一种水混溶的醇或乙酸酯。

8．根据权利要求1的组合物，其中染料单元的范围是大约5-95摩尔％，交联单元的范围是大约1-50摩尔％和亲水乙烯基单体的范围是大约1-50摩尔％。

9．根据权利要求1的组合物，其中聚合物进一步包括一种或多种乙烯基单体，它们是不吸收、不交联和不亲水的。

10．根据权利要求1的组合物，其中组合物进一步包括一种交联剂。

11．根据权利要求1的组合物，其中组合物进一步包括一种染料。

12．根据权利要求1的组合物，其中聚合物的重均分子量范围是大约2500-1000000。

13．根据权利要求1的组合物，其中金属离子含量为每种金属离子的50ppb以下。