[发明专利]用于激光伺服刻写的伯努利型柔性介质稳定法

权利要求书

1．在激光伺服刻写介质上的光学伺服轨迹时稳定数据存贮介质(11)的装置，这个装置包括：

a)一个用于在伺服刻写时旋转介质的转轴(50)；

b)一个固定的介质平台(30)；以及

c)一个在伺服刻写时稳定介质垂直位置的介质支撑(60)。

2．在激光伺服刻写介质上的光学伺服轨迹时稳定数据存贮介质(11)的方法，这个方法包括步骤：

a)把介质(11)放到转轴(50)上；

b)利用在固定的介质平台(30)和介质支撑(60)上旋转介质来稳定介质的垂直位置；以及

c)在介质上激光伺服刻写光学伺服轨迹。

3．根据权利要求1的装置或权利要求2的方法，其特征在于介质支撑位于介质平台上形成的狭缝(38)里。

4．根据权利要求3的装置或方法，其特征在于以切线方向测量的狭缝的宽度，大于以切线方向测量的介质支撑的宽度。

5．根据权利要求1-4的装置或方法，其特征在于介质支撑以径向从转轴向外延伸。

6．根据权利要求1-5的装置或方法，其特征在于介质支撑包括一个有一个冠顶的上表面，冠顶被定位在介质平台以上的一个冠顶高度。

7．根据权利要求6的装置或方法，其特征在于冠高大致上与介质在加工速度下旋转时在介质平台上的自然高度相匹配。

8．根据权利要求1-7的装置或方法，其特征在于介质支撑包括多个通常与转轴切线方向对准的通道(62)，这多个通道的每一对相邻通道被一个小条(64)隔开。

9．根据权利要求8的装置或方法，其特征在于介质支撑相对于介质平台被固定。

10．根据权利要求8的装置或方法，其特征在于介质支撑进一步包括一个真空槽(166)，它至少对多个通道的一部分开放。

11．根据权利要求10的装置或方法，其特征在于小条和通道的宽度比大致为1∶1或更高。

12．根据权利要求10的装置或方法，其特征在于介质支撑固定在介质平台里的狭缝(38)中。

13．根据权利要求8或10的装置或方法，其特征在于介质支撑包括一个上表面，上表面有一个冠顶位于介质平台以上一个冠顶高度处。

14．根据权利要求13的装置或方法，其特征在于冠顶高度大致上与介质在加工速度下旋转时在介质平台以上的自然高度相匹配。

15．根据权利要求10的方法，进一步包括通过介质支撑抽取真空。

16．根据权利要求15的方法，其特征在于介质在加工时不会完全封堵通道和真空槽。