[发明专利]带电磁支承装置和可弹性绕轴转动的对中元件的驱动装置,

权利要求书

1．一种驱动装置，包括一第一主体和可相对所述第一主体转动的第二主体，使第二主体绕一旋转轴线转动的电磁装置，以及为相对第一主体无机械接触地支承第二主体的电磁支承装置，其中的一个主体具有一杆形对中元件而另一主体则具有以对中壁环绕旋转轴线的中心孔，对中元件的对中部分有间隙地与中心孔配合，其特征在于杆形对中元件可弹性地绕枢轴转动，对中部分除去中心位置外，由于在第二主体旋转中与对中壁接触而呈现与此中心位置径向偏移位置。

2．如权利要求1中所述的驱动装置，其特征在于对中元件固定在第一主体上而第二主体上形成有中心孔。

3．如权利要求1或2所述的驱动装置，其特征在于对中部分和对中壁二者均为环状圆柱形，对中部分在一距离范围内是径向可移动的，该距离至少基本上等于对中壁与对中部分之间的直径差值的一半。

4．如权利要求1,2或3所述的驱动装置，其特征在于对中元件制成一可弹性变形的杆。

5．如权利要求1,2,3或4所述的驱动装置，其特征在于将对中元件固定在一端部以便可弹性地绕枢轴转动。

6．如权利要求1,2,3或4所述的驱动装置，其特征在于对中元件在固定端与对中部分之间具有一缩颈部分。

7．如权利要求1,2,3,4,5或6所述的驱动装置，其特征在于在对中元件上设置一吸振材料。

8．如前述任一权利要求所述的驱动装置，其特征在于对中元件具有一自由端表面，该表面对着具有中心孔的主体的一表面，端表面与前面提到的表面在电磁支承装置非激励的状态下构成一枢轴承。

9．如前述任一权利要求所述的驱动装置，其中第二主体包括一圆柱形，特别是盘状的，至少部分永久磁铁的转子体用以产生磁场，该磁场沿转子体的圆周方向在强度和方向上变化，第一主体包括一装载驱动线圈的定子体，该驱动线圈延伸到转子体的磁场中以产生作用在转子体上的电磁驱动力，定子体同时装载一延伸到转子体磁场中的支承线圈，以产生作用在转子体上的电磁支承力。

10．一光学单元，包括如前述任一权利要求所述的驱动装置和一面用以使一射线束指向一表面的镜子，第二主体装载该镜子。

11．一种装置，包括如权利要求10所述的光学单元。

12．一种扫描装置，包括如权利要求10所述的光学单元，设置一真空腔用以容纳至少镜子和装载镜子的第二主体。