[发明专利]多共振超导探测器

权利要求书

1.一种多共振超导探测器，其特征在于，包括：

一衬底；

多个不重叠的薄膜线圈，所述线圈固定在所述衬底上；

其中，每个所述线圈由超导材料制成，并且被调谐到选定的不同共振频率。

2.如权利要求1所述的探测器，其特征在于，所述调谐对所述多个线圈之间的所述互感敏感。

3.如权利要求1所述的探测器，其特征在于，每个所述线圈包括多个叉指，所述线圈的所述共振频率对所述叉指的总数敏感。

4.如权利要求3所述的探测器，其特征在于，所述叉指的所述总数在100到200之间。

5.如权利要求3所述的探测器，其特征在于，所述叉指的所述总数在500到600之间。

6.如权利要求1所述的探测器，其特征在于，每个所述线圈具有相同的中心点。

7.如权利要求1所述的探测器，其特征在于，每个所述线圈的形状是圆形的。

8.如权利要求1所述的探测器，其特征在于，每个所述线圈的形状是矩形的。

9.如权利要求1所述的探测器，其特征在于，所述探测器具有一个视场，关于被成象选定区域，而所述线圈离开一最大距离放置，并仍然为所述探测器保持可接受的所述视场。

10.如权利要求1所述的探测器，其特征在于，所述衬底是柔软的。

11.一种多共振超导探测器，其特征在于，包括：

一衬底；

至少两个线圈薄膜层，将每个所述线圈调谐到选定的不同共振频率，包括超导线圈；和

一缓冲层，它位于相邻的所述线圈层之间。

12.如权利要求11所述的探测器，其特征在于，所述线圈包括多个叉指，所述线圈的所述共振频率对所述叉指的总数敏感。

13.如权利要求11所述的探测器，其特征在于，每个所述线圈具有相同的中心点。

14.如权利要求11所述的探测器，其特征在于，每个所述线圈的形状为圆形的。

15.如权利要求11所述的探测器，其特征在于，每个所述线圈的形状是矩形的。

16.如权利要求11所述的探测器，其特征在于，所述衬底是柔软的。

17.一种制作多共振超导探测器的方法，其特征在于，包括以下步骤；

选择一衬底；

在所述衬底上沉积一薄的超导膜；

在所述薄膜上形成多个同心线圈；并且

将每个所述线圈调谐到一共振频率，所述调谐对所述多个线圈的互感敏感。

18.如权利要求17所述的方法，其特征在于，每个所述线圈包括许多叉指，并且所述方法还包括下述步骤：从所述线圈除去选定数目的所述叉指，以改变所述线圈的所述共振频率。

19.一种制作多共振超导探测器的方法，其特征在于，包括以下步骤；

选择一衬底；

在所述衬底上沉积第一超导薄膜；

在所述薄膜上形成一个线圈，所述薄膜大致保持水平；

在所述第一超导薄膜上沉积缓冲层；

在所述缓冲层上沉积第二超导薄膜；

在所述第二薄膜中形成线圈，所述第二薄膜大致保持水平；

将每个所述线圈调谐到一共振频率，所述调谐对所述多个线圈的互感敏感。

20.如权利要求19所述的方法，其特征在于，每个所述线圈包括许多叉指，并且所述方法还包括下述步骤：从所述线圈除去选定数目的所述叉指，以改变所述线圈的所述共振频率。

21.如权利要求19所述的方法，其特征在于，还包括以下步骤：

在所述第二薄膜层上沉积一附加缓冲层；

在所述附加缓冲层上沉积一附加超导薄膜；并

在所述附加薄膜中形成一线圈，所述薄膜大致保持水平。

22.如权利要求19所述的方法，其特征在于，所述形成线圈的步骤用离子移植技术来完成。