[发明专利]高分辨率图象拾取方法及其装置

说明书

本发明涉及一种拾取高分辩率图象的方法及其装置。更具体地，本发明涉及到一种高分辩率图象拾取方法及其装置，用于增强图象拾取系统的分辩率，它被用于生产线上检查电子设备和其它埸合的显示设备上的坏点时自动地确定检查结果的可靠性，这些显示设备比如是液晶板，阴罩，CRT板和等离子显示器。

作为读取显示在显示设备上的屏幕的主要的方法，是提供了一个使用CCD区域传感器，该传感器是两维的传感器。

在该方法中，排列在两维传感器的列和行中的象素与排列在显示设备的列和行中的象素互相关联(下面除非特别说明，显示设备的象素被称为″显示象素″，传感器的象素被称为传感器象素″)，其中象素是如此排列的，即多个传感器象素与一个显示象素相关联。

以3000×1000象素液晶板作为显示设备为例来解释。液晶板包括象素的显示部分和非显示部分。在这些显示部分的光检查中的坏点可分为两类：暗点，它是液晶板在显示状态时不进行显示的一组显示象素；亮点，它是在非显示状态中进行显示的一组显示象素。用于检查这些坏点的自动检查装置，需要确定显示设备中这些坏点的正确位置。在这种情况下，当两个传感器象素被分配到一个显示象素中时，在行方向需要6000个象素。

可是，要增加传感器象素以满足增长的液晶板高密度象素的要求是不容易的。这是由于在半导体制造过程中，由于增加传感器象素，传感器象素本身出现坏点的可能性增加。为此原因，倘若使用具有传感器象素少的CCD区域传感器，其中的方法甚至不允许实施所需的自动检查装置。作为使用具有少的传感器象素的CCD区域传感器的方法，传统的方法是在第一位置利用多个CCD区域传感器，以及这样的方法，即移动CCD区域传感器的相对位置，并以小步移动来检查目标(例如，参见文章″LCD显示图象质量的自动检查技术″杂志″Monthly LCD Intelligence″，66-75页，1996年3月出版)。

可是，上述的两种常规方法具有如下问题。

首先，利用多个CCD区域传感器的第一种方法，它很难对齐检查装置的图象拾取光学系统，此外，它在处理图象拾取传感器之间显示象素的图象拾取部分的重叠部分时很复杂。因此，它不是所要采用的方法。而且，当CCD区域传感器很昂贵时，利用多个CCD区域传感器会使得整个图象拾取系统价格非常高。

在移动CCD区域传感器的相对位置并以小步移动来检查目标的第二个方法中，由于CCD区域传感器的象素数没有增加，不要期望分辩率有一个跳跃性的改变。例如，将显示象素51的幅度设置得小于图7所示的传感器象素50，结果显示象素的数量可以增加，其中显示象素被分配到传感器象素。这种情况是当显示象素在行方向计数2000个象素时图象拾取传感器在行方向计数到1000个象素。在这种情况，即使CCD区域传感器和检查目标之间的相对位置以小步移动，也可能获得唯一显示象素的信息，因为只有一个图象拾取传感器被分配到两个显示象素。

本发明的目标是提供一种高分辩率的图象拾取方法和装置，它能解决上述问题，并且容易实现高分辩率。

为实现这些和其它目标，按照本发明的第一方面，提供一种高分辩率图象拾取方法，包括：将捕捉检查目标上的图象信息的图象拾取传感器的每个光接收象素分成多个区域；并针对划分的区域的每一个从检查目标上捕捉图象信息，因此最后用所有光接收象素的区域来捕捉在检查目标上的图象信息。

按照本发明的第二个方面，提供一种按照第一方面的高分辩率图象拾取方法，其中图象信息是如此捕捉的，即在检查目标与图象拾取传感器之间提供光接收象素区域分解部分，每个光接收象素区域分解部分相应于图象拾取传感器的每个光接收象素放置，其面积小于一个光接收象素，只有从检查目标发出的、通过光接收象素区域分解部分的光才被图象拾取传感器的光接收象素捕捉，以作为图象信息。

按照本发明的第三个方面，提供一种高分辩率图象拾取装置，它包括：图象拾取传感器，具有捕捉检查目标上图象信息的多个光接收象素；光接收象素区域分解元件，具有光接收象素区域分解部分，该元件放置在图象拾取传感器与检查目标之间，而且每个光接收象素区域分解部分相应于图象拾取传感器的每个光接收象素放置，其面积小于一个光接收象素的面积，只有从检查目标发出的、通过光接收象素区域分解部分的光才被图象拾取传感器的光接收象素捕捉，以作为图象信息。

按照本发明的第四方面，提供一种按照第三方面的高分辩率图象拾取装置，其中，光接收象素区域分解元件是具有光阀功能的平板元件，每个光接收象素区域分解部分是该平板元件的孔径。