[发明专利]电－机械转换元件以及振动致动器及其制造方法

权利要求书

1.一种电—机械转换元件，用于把电能转换成机械位移或把机械位移转换成电能，

其中所述电—机械转换元件的一个主体具有用于产生不同的压电效应的多个电—机械转换部分，且所述多个能够同时沿着不同的方向自由位移。

2.根据权利要求1的元件，其中所述主体利用所述多个电—机械转换部分同时产生不同的振动模式。

3.根据权利要求1的元件，其中所述主体能够利用所述多个电—机械转换部分同时且独立地把所述主体中同时产生的不同振动模式转换成电能。

4.根据权利要求1的元件，其中所述主体主体利用所述多个电—机械转换部分同时产生不同的振动模式并能够同时且独立地把所述主体中同时产生的不同振动模式转换成电能。

5.根据权利要求1的元件，其中所述多个电—机械转换部分包括一个用于产生压电横切效应的第一电—机械转换部分，以及用于产生压电剪切效应的一个第二电—机械转换部分。

6.根据权利要求5的元件，其中借助压电剪切效应产生了扭转振动，且借助该压电横切效应产生了纵向振动。

7.根据权利要求5的元件，其中形成了彼此分隔的、与所述第二电—机械转换部分等价的两个第二电机械转换部分，且在所述两个第二电—机械转换部分之间形成了与所述第一电—机械转换部分等价的一个第一电—机械转换部分。

8.根据权利要求5的元件，其中所述第一和第二电—机械转换部分中的一个与另一相邻地形成在所述主体上。

9.根据权利要求7的元件，其中彼此相邻地设置的所述第一和第二电—机械转换部分用于把电能转换成机械位移，且用于把机械位移转换成电能的部分被形成在所述主体的沿着所述第一和第二电—机械转换部分的设置方向的至少一个端部侧上。

10.根据权利要求8的元件，其中彼此相邻地设置的所述第一和第二电—机械转换部分是用于把电能转换成机械位移的部分，且用于把机械位移转换成电能的部分被形成在所述主体的沿着所述第一和第二电—机械转换部分的设置方向的至少一个端部侧上。

11.根据权利要求5的元件，其中所述主体被形成平面形状，且所述第一和第二电—机械转换部分的厚度处于大体相等的范围内。

12.一种电—机械转换元件的制造方法，包括以下步骤：

通过沿着多个方向对一个用于把电能转换成机械位移或把机械位移转换成电能的电—机械转换元件的一个基座部件进行成极极化，而形成多个电—机械转换部分—这些电—机械转换部分在所述基座部件中产生不同的压电效应并且能够同时沿着不同的方向进行位移。

13.一种电—机械转换元件的制造方法，包括以下步骤：

通过对用于把电能转换成机械位移的一种电机械转换元件的一个基座部件进行第一成极极化而形成一个第二电—机械转换部分，并通过对包括所述第二电—机械转换部分的一部分的一个部分进行第二成极极化而形成一个第一电—机械转换部分，该第一电—机械转换部分用于产生与所述第二电—机械转换部分的压电效应不同的一种压电效应。

14.根据权利要求13的方法，其中所述第一电—机械转换部分产生一种压电横切效应，且所述第二电—机械转换部分产生一种压电剪切效应。

15.根据权利要求13的方法，其中所述电—机械转换元件的所述基座部件被形成为平面形状，且在所述基座部件的两个表面上沿着所述基座部件的平面方向以预定的间隔形成了多对电极，

通过把一个电场加到所述多对电极中的至少相邻的对上，而进行第一成极极化，且

通过把电场加到构成所述多对电极中的至少一对的电极上，进行第二成极极化。

16.根据权利要求15的方法，其中在第一成极极化和第二成极极化之后进行用于使所述第一和第二电—机械转换部分的厚度均匀的处理。