[发明专利]液晶面板基片、液晶面板基片的制造方法、液晶装置及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及具有微小间距的电极结构的液晶面板用基片及其制造方法，还涉及用该液晶面板用基片制作的液晶装置，还涉及包括该液晶装置的电子设备。

背景技术

近年来，广泛使用液晶装置作为便携电话机和电子笔记本等便携电子设备的显示单元。这大多依赖于液晶装置所有的低耗电特生。至今为止，在这样的用途中多使用字符和段等显示容量比较少的液晶装置，但是，随着存储容量的增加和数据通讯技术的提高等，对液晶装置要求更多的显示容量的情况变得多起来。因此，到了大量使用可进行包括图形显示的大容量显示的点阵式液晶装置的时候了。

在这样的点阵式液晶装置的制造过程中，在适当的阶段检查显示电极之间的短路或断线，在制造过程中流过经检查确认为合格品的基片部件，这点在质量管理上是不可缺少的。作为这样的显示电极的短路及断线的检查方法，以前公布了例如在特开昭59-042583号公报中的下述方法。即，在透明电极图形的电极检查时，向透明电极图形上施加电压，例如是直流电压，然后使称作探针的短针与透明电极的表面接触，进而，通过以一定的速度移动该探针、检测有关各电极的电压来检查电气短路及断线。

更具体地说，作为第一先有例，如图10所示，在用于和外部电路相连的端子即外部连接端子51从外部电极52电气独立时，使检查探针54与多个电极53中的一个电极相接触，施加例如是直流电压的电压，并使另一检查探针56接触与该电极53上的端子51相反一侧的电极端部。并且，检查探针54和探针56间的电压变化。另一方面，使另一检查探针57和相邻的电极53接触，检查探针56和探针57间的电压变化。

按照使探针54和探针56与同一电极接触的方式，如箭头A所示，在多个电极间移动探针54和探针56，在移动时用探针54读取电压，检测出图11所示的电压变化。即，探针54检测的电压为高电压Vh时，在电极53中的探针54和探针56间没有电气断线。也就是说，能够通过探针54和探针56检测出电极断线。

另一方面，按照使探针56和探针57与相邻的电极接触的方式，如箭头A所示，在多个电极间移动探针56和探针57，如果在移动时用探针57读取电压的话，则能够检测在相邻的电极53和53间是否有短路。即，如果在这些电极间没有短路，那么，用探针57检测的电压通常为0，如果在这些电极间有短路，那么，检测到电压。也就是说，能够通过探针56和探针57检测电极间的短路。如上那样，检查电极的断线和电极间的短路，把没有异常的电极部件作为合格品送到下一工序。

接着，作为第二先有例，已知有图12所示的方法。该现有的方法是在将电极53逐个有意识地连接到外部电极52、即短路时所用的方法，使检查探针54与外部电极52接触、施加例如是直流电压的电压时，与图10的情况相同，使另一检查用探针56接触与外部连接端子51相对一侧的电极端部，并使该探针56如箭头A那样在多个电极间移动，用该探针56检测电位差，根据该电位差检测出电极间的短路及电极的断线。

在多个电极53正常时，如图13所示，有规则地交互地出现了高电压Vh和低电压V1。在和外部电极52短路的电极53中有断线时，如图14所示，应成为高电压Vh的电极的地方、在图14的情况下电极序号为3处电压峰值出现空白。在相邻的电极53、53间出现短路时，如图15所示，连续地检测出高电压Vh。因此，在本实施例中，由于电极逐个更换电压施加的有无，所以，能够基本上通过扫描移动一个探针检测出与外部电极短路的电极的断线及电极间的短路。

可是，由于机械精度的制约，存在与减少检查探针前端的截面积有关的限度。从微观上看，该探针的前端和液晶面板的电极是面接触。在上述现有的检查方法中的任一情况下，如果电极间的间隙减少的话，则存在探针的前端跨过两个相邻电极而接触的问题。如产生该问题的话，在全部电极和外部电极处于电气独立状态的图10的先有例中，探针56、探针57和一个电极53相互导通，因此，成为在探针57上总是施加电压的状态，结果，即使电极间不短路，也做出有短路的错误判断，故不可能做出正确的判定。

即使在多个电极53逐个与外部电极52导通的状态的图12的现有例中，同样地在探针的接触区域比相邻的电极间隙大时，在探针56上总是施加高电压，往往不能做出正确的判定。而且，原来利用在低电压V1处的地方出现高电压Vh来判断在电极间有短路，如探针56的接触区域变大的话，就不能确保在该短路检测中所需的低电压V1的区域本身，即使实际上有短路，恐怕也不能检测出来。