[实用新型]硅微机械泵无效
| 申请号： | 96232181.8 | 申请日： | 1996-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN2263720Y | 公开（公告）日： | 1997-10-01 |
| 发明（设计）人： | 丁辛芳 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | F04B43/04 | 分类号： | F04B43/04 |
| 代理公司： | 东南大学专利事务所 | 代理人： | 楼高潮,魏学成 |
| 地址： | 210018*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微机 | ||
【权利要求书】：
1、一种用作流体泵的硅微机械泵，由泵体、驱动装置和流体输运机构组成，其特征在于驱动装置由加热电阻和驱动电源构成，流体输运机构由微型腔室、自由振动硅膜和喷嘴—扩散管道式的出口和入口形成，加热电阻位于微型腔室内。
2、根据权利要求1所述的硅微机械泵，其特征在于加热电阻采用硅薄膜电阻。
3、根据权利要求1所述的硅微机械泵，其特征在于喷嘴—扩散管道式的出口和入口由喷嘴部分和扩散管道构成，喷嘴部分为锥形结构，扩散管道为略带锥度的管道，锥形喷嘴的开口尺寸大于扩散管道口的尺寸，入口管的喷嘴朝外，出口管的喷嘴靠近自由振动硅膜。
4、根据权利要求1、2或3所述的硅微机械泵，其特征在于硅薄膜加热电阻采用悬浮结构，并置于微型腔室的中部。
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