[实用新型]高稳定电控压电阀

说明书

本实用新型属于喷射装置领域。

电控压电阀是手动真空微调阀门的换代产品，主要用于真空镀膜等充气之用，其充气端接被充气体，在阀座上设有小孔与通气口相通，陶瓷片通过弹簧压在阀座上，通气口接真空系统，当阀门需要开启时，在陶瓷片上施加一定电位，陶瓷片即产生变形，其上的密封片离开小孔，气体即从充气端向真空端渗透，渗透量的大小，可通过调整电压改变陶瓷片的变形量来决定。在使用过程中，由于运输、受震动等原因，常常发生弹簧震动使陶瓷片变形、密封垫串位的现象，因而导致充气量不稳定。

本实用新型的目的就是针上述不足，提供一种使充气量稳定的电控压电阀。

本实用新型包括充气嘴、过滤片、陶瓷片、阀座，在陶瓷片上固定密封垫，在阀座上固定环形支架且设有小孔与通气口相通，射频连接器通过导线与陶瓷片连接，其特征在于：在环形支架上依次装有压环、陶瓷片，压环、陶瓷片通过锥端螺钉固定在阀座上。

由于本实用新型用锥端螺钉固定陶瓷片，使小孔、密封垫、阀座一体化，只有向陶瓷片施加电位时，密封垫才与小孔之间发生位移，保证了密封垫与小孔相对位置不变，且可承受运输或震动的冲击，从而使本实用新型能长期、稳定的工作。

图1为本实用新型结构示意图。

下面结合附图对本实用新型做进一步详细说明。

本实用新型充气咀1通过背帽2、O型环a3固定在与阀体6的充气口相通的滤气座18上，在滤气座18内通过紧丝4、O型环b19固定过滤片20，以保证所充气体得到静化。阀体6与阀座12通过压帽9压紧(固定)，阀座12上设有小孔15与通气口13相通，射频连接器14通过导线与陶瓷片10连接。在陶瓷片10上固定密封垫11，在阀座上设有环形支架16，在环形支架16上依次装有压环5、胶圈17、陶瓷片10，陶瓷片10上的密封垫11与小孔15相对，在压环5、环形支架16、阀座12上分别开有小孔，孔内分别固定锥端螺钉8及圆柱头螺钉7，以使陶瓷片10与阀座12固定。自然状态下陶瓷片10上的密封垫11与小孔15密封配合，气体不能通过，当向真空端渗透气体时，射频器向陶瓷片10上施加电压，陶瓷片10产生变形，密封垫11离开小孔，气体由充气咀1向真空端渗透，其渗透量的大小，可通过调整电压来实现。将此电压由相应的真空计或微机控制输出，即可实现自动充气之目的。

本实用新型适用于真空镀膜行业。