[实用新型]金属有机化合物气相沉积技术倒置式生长反应器

权利要求书

1、一种金属有机化合物气相沉积技术倒置生长反应器，除石黑加热体外，其余均为石英制成，包括石墨加热块(1)，石英搁架(4)，在衬底片前方设置的Hg舟(5)，Hg收集池(6)，Hg舟和Hg收集池连接管(11)，均在水平式常压开管腔体内，腔体外置有射频线圈(3)，其特征在于：

a.腔体内靠近上腔壁，置有供放置外延衬底片的石英搁架(4)，支撑衬底片(2)，衬底外延面(9)向下，面向反应物主气流，石墨加热块(1)置于衬底上方，并紧贴衬底片(2)；

b.在生长反应器的后部设有Hg收集池(6)，其收集的Hg通过连接管(11)重新流回前部的Hg舟(5)。

2、根据权利要求1所述的一种金属有机化合物气相沉积技术倒置式生长反应器，其特征在于所说的在衬底片前方设置的Hg舟(5)上方设置有Hg蒸气导引片(8)，在Hg蒸气导引片(8)的上方设置有Hg蒸气压调节板(10)，通过Hg蒸气压调节板(10)位置的前后移动，调节反应器内的Hg蒸气压。