[实用新型]静态校验动态测量的精密测位仪

说明书

本实用新型涉及的是一种测位仪，特别涉及的是一种静态校验动态测量的精密涡流测位仪。

电涡流传感器主要由线圈、支架、填料、壳体及输出电缆组成，由于是无源传感器，所以具有温度特性好，使用寿命长等特点，因而被广泛应用在机械量的位移、振动、测厚等非接触的测量中。

由电涡流传感器组成的测量电路有两大类，一类是调幅式，另一类是调频式。前一类是由放大、A/D转换器、显示器组成，后一类是直接对传感器的输出频率计数后送显示器。

由于传感器本身是非线性的，在现有测量中，均只利用了涡流传感器的准线性段，其线性度差，测量范围窄，很难进行大量程的高精度测量。另外，电涡流传感器是非接触的相对测量，当需进行绝对位移值测量时，要求传感器在现场精确零位安装，否则将带来测量误差。将该传感器用于动态位移(振动)测量时，除受零位安装位置的影响外，传感器的非线性将大大增加测量误差，这样使动态测量精度低，严重影响了现场的使用效果。

鉴于以上原因，本实用新型的目的是为了提供一种不受安装零位位置的影响，使动态测量精度能达到静态校验精度，测量精度高的静态校验动态测量的精密涡流测量仪。

本实用新型的目的是这样实现的：本实用新型中有正负向检波器，与正负向检波器连接的快速平均值检波器(2、3)，与快速平均值检波器连接的A/D转换器，与A/D检波器连接的微处理器(参见图1～图4)。

上述的正负向检波器中有集成块IC₆：A，二极管D₁、D₂，电阻R₃、R₆(参见图2)，IC₆：A可采用型号为LM4558的集成块。

上述的快速平均值检波器(2)中有集成块IC₇：A，电容C₂、C₃、C₆，电阻R₉、R₁₀、R₁₃，其输入端通过输入电阻R₈与正负向检波器输出端连通，快速平均值检波器(3)中有集成块IC₇：B，电容C₅、C₄、C₇，电阻R₁₁、R₁₂、R₁₄，其输入端通过输入电阻R₇与正负向检波器输出端连通(参见图2)，IC₇：A，IC₇：B可采用型号为ML4558的集成块。

上述的A/D转换器中有集成块IC₅，电容C₁₀、C₁₁、C₁₂(参见图3)，集成块IC₅可采用型号为Max186的集成块。

上述的中央处理器选用型号为80C31的IC₃，总线琐存器采用型号为74HC573的IC₂，程序存贮器选用型号为27C64的IC₁，电可擦存贮器选用型号为28C64的IC₄(参见图4)。

将本实用新型所选用的涡流传感器固定在位移校验台上，逐点改变位移量，将对应的输出值通过A/D转换器成数字量后，输入电可擦存贮器IC₄中，这样在IC₄存贮器中就有一个位移值和其输出电压值的对应表如图5。图5中Xn，Xa＋1，Vn，Vn＋1为检验点的位移值和其对应的输出值。在零位安装校准时，如传感器安装在X′n处，仪器就自动对传感器的安装零点(即安装位置)进行测量，将此位移值存入IC₄中。