[发明专利]导筒以及在其内周面上形成硬质碳膜的方法

权利要求书

1．一种导筒，大致呈圆筒状，具有轴向贯通的中心开口，在其纵长方向的一端部形成外周锥面和用于使其具有弹性的切槽，在另一端部具有用于安装在自动车床的立柱上的螺纹部，在形成上述外周锥面部分的内周，形成保持被加工物的内周面，通过安装在自动车床上，由保持上述被加工物的内周面，可在切削刀具附近旋转以及沿轴向滑动地保持穿入上述中心开口的被加工物；其特征在于：

在保持上述被加工物的内周面附近的基材内形成渗碳层，在形成该渗碳层的内周面上设置硬质碳膜，该硬质碳膜为氢化非晶形碳膜。

2．如权利要求1所述的导筒，其特征在于：在上述形成了渗碳层的内周面与上述硬质碳膜之间，设有提高密接性的中间层。

3．如权利要求2所述的导筒，其特征在于：上述中间层由上、下两层膜形成，下层膜由钛或铬或其中任一种的化合物构成，上层膜由硅或锗或其中任一种的化合物构成。

4．一种在导筒的内周面上形成硬质碳膜的方法，其特征在于，

把自动车床用的导筒配置在真空槽内，该真空槽有排气口和气体导入口，在真空槽内设有阳极和白热丝；

把杆状或线状辅助电极插入导筒的形成与被加工物滑接之内周面的中心开口内；

对真空槽进行真空排气后，从气体导入口导入含碳气体，对导筒加直流电压，对阳极加直流电压，对白热丝加交流电压，产生等离子体，从而在导筒的内周面形成硬质碳膜。

5．如权利要求4所述的在导筒的内周面上形成硬质碳膜的方法，其特征在于，在硬质碳膜的形成中，将上述辅助电极保持为接地电位或直流正电位。

6．如权利要求4所述的在导筒的内周面上形成硬质碳膜的方法，其特征在于，在上述导筒的形成切槽的开口端面上，配置内径与导筒的上述内周面的直径略同的环形空心部件，形成上述硬质碳膜。

7．如权利要求6所述的在导筒内周面上形成硬质碳膜的方法，其特征在于，将上述辅助电极配置成其前端位于空心部件开口端面的内侧。

8．如权利要求4所述的在导筒的内周面上形成硬质碳膜的方法，其特征在于，在上述导筒的形成切槽的开口端部配置带突起的部件，该带突起的部件备有内径略同于该导筒的上述内周面的直径的环形本体部，在该环形本体部上设有若干个能分别插入导筒各切槽内的突起，将各突起插入导筒的各切槽内，形成上述硬质碳膜。

9．如权利要求4所述的在导筒的内周面上形成硬质碳膜的方法，其特征在于，在上述导筒的、直径大于上述内周面的台阶部内，插入内径略同于上述内周面直径的圆筒形内插部件，形成上述硬质碳膜。

10．如权利要求4所述的在导筒的内周面上形成硬质碳膜的方法，其特征在于，在上述导筒的形成切槽的开口端部配置带突起的部件，该带突起的部件备有内径略同于该导筒内周面直径的环形本体部，在该环形本体部上设有若干个能分别插入导筒各切槽内的突起，将各突起插入导筒的各切槽内，同时，在导筒的、直径大于内周面直径的台阶部内，插入内径略同于上述内周面直径的圆筒形内插部件，形成上述硬质碳膜。

11．一种在权利要求2所述的导筒的内周面上形成硬质碳膜的方法，其特征在于，由绝缘子支承着上述辅助电极，形成硬质碳膜，该绝缘子插入到导筒的、直径大于上述内周面的台阶部内。

12．一种在导筒的内周面上形成硬质碳膜的方法，其特征在于，

把自动车床用的导筒配置在具有排气口和气体导入口的真空槽内；

把杆状或线状辅助电极插入导筒的形成与被加工物滑接之内周面的中心开口内；

对上述真空槽进行真空排气后，从气体导入口导入含碳气体，对导筒加高频高压，产生等离子体，在该导筒的内周面形成硬质碳膜。

13．如权利要求12所述的在导筒的内周面上形成硬质碳膜的方法，其特征在于，在上述硬质碳膜形成中，将辅助电极保持为接地电位或直流正电位。

14．如权利要求12所述的在导筒的内周面上形成硬质碳膜的方法，其特征在于，在上述导筒的形成切槽的开口端面，配置内径略同于导筒内周面直径的环形空心部件，形成上述硬质碳膜。

15．如权利要求20所述的在导筒的内周面上形成硬质碳膜的方法，其特征在于，将辅助电极配置成其前端位于空心部件开口端面的内侧。