[发明专利]一种采用CCD摄像机的曝光系统的准直装置

权利要求书

1、用于曝光系统的准直装置，包括：

多个光学准直系统，每个准直系统产生经过一个光路的准直光，并且该准直光对应于形成于工件上的准直刻线；

一个棱镜，有多个反射面，反射多束准直光束并在屏上产生准直光束；

一个屏，有一个基准刻线形成其上，基准刻线对应于工件的准直位置；

一个成像透镜，由穿过屏的准直光束形成图像，所形成的图像对应于基准刻线和准直刻线；

一个CCD摄像机，把入射并穿过成像透镜的准直光束转换成相应的图像信息并产生一个图像信号；

一个图像处理器，在根据CCD摄像机产生的图像信息计算了基准刻线和准直刻线之间的差别后，产生一个对应于工件位置变化的位置信号；

一个信息显示器，显示相应于图像处理器产生的图像信号的信息；和

一个平台控制器，根据图像处理器产生的位置信号来移动有工件放置在其上的平台。

2、根据权利要求1所述的准直装置，其特征在于，多个光学准直系统包括：

一个发射光束的光源；

一个传递从光源发出的光束的光纤；

一个滤光器，对经光纤传递的光束进行滤光，使滤光后的光束成分对光导材料曝光；

一个第一透镜，将滤光后的光束扩展成一个扩大尺寸的光束；

一个第二透镜，将穿射第一透镜的光束会聚以对工件曝光，其中准直刻线刻在工件上；和

一个光分束器，由被工件反射、经过第二透镜的光束在一个相应的光路上产生准直光束。

3、根据权利要求1所述的准直装置，其特征在于，成像透镜是一个变焦透镜。

4、根据权利要求3所述的准直装置，其特征在于，变焦透镜包括对变焦透镜不连续变化的放大率的控制。

5、一个用于曝光系统的准直装置，包括：

多个光学准直系统，每个都有一个可选择改变的工作状态，还有一个经过一条光路产生准直光束的光源，其中准直光束对应于形成在工件上的准直刻线；

一个有基准刻线形成其上的屏，基准刻线对应于工件的准直位置；

一个成像透镜，由穿过屏的准直光束形成图像，所形成的图像对应于基准刻线和准直刻线；

一个CCD摄像机，把穿过成像透镜的准直光束转变成相应的图像信息并产生一个图像信号；

一个图像处理器，在根据CCD摄像机产生的图像信息计算了基准刻线和准直刻线之间差别后，产生一个相应于工件位置变化的位置信号；

一个信息显示器，显示相应于图像处理器产生的图像信号的信息；和

一个平台控制器，根据图像处理器产生的位置信号移动一个有工件放置在其上的平台。

6、根据权利要求5所述的准直装置，其特征在于，多个光学准直系统包括：

一个发射光束的光源；

一个传递从光源发出的光束的光纤；

一个滤光器，对经过光纤传递的光束进行滤光，使滤光后的光束成分对光导材料曝光；

一个光阀，根据光阀的状态是开还是关来传递滤光后的光；

一个第一透镜，将滤光后的光束扩展成一个扩大尺寸的光束；

一个第二透镜，将穿射第一透镜的光束会聚以对工件曝光，其中准直刻线刻在工件上；和

一个光分束器，由被工件反射、经过第二透镜的光束在一个相应的光路上产生准直光束。

7、根据权利要求5所述的准直装置，其特征在于，成像透镜是一个变焦透镜。

8、根据权利要求7所述的准直装置，其特征在于，变焦透镜包括对变焦透镜不连续变化的放大率的控制。

9、根据权利要求5所述的采用CCD摄像机的曝光系统的准直装置，还包括一个镜子，用于反射光学准直系统产生的经过一光路的准直光束，并在屏上产生同样的光束。