[发明专利]反射镜镜面形状控制装置

权利要求书

1.一种反射镜的镜面形状控制装置，其特征在于具有：

带有能对反射镜的镜面形状进行控制的传动机构的反射镜支承机构；检测由镜面反射的光的波面畸变、输出波面畸变信息的波面检测器；输入上述波面畸变信息，控制上述反射镜支承机构的传动机构的控制器，

上述控制器根据上述波面畸变信息，对镜面内多个点计算出矫正上述波面畸变所必须的上述所要求的镜面位移量，

将该多个点的上述所要求的镜面位移量用线性结合的最佳近似函数近似成与镜面形状及约束条件相应的本征函数的规定振动方式，

控制上述反射镜支承机构的传动机构，以便将在由反射镜支承机构支承的位置处的该最佳近似函数的值作为镜面位移量。

2.按权利要求1记载的反射镜的镜面形状控制装置，其特征在于：作为前述本征函数，是无约束圆形板的自由振动本征函数，采用定义在镜面内的贝塞尔·付里叶函数。

3.按权利要求1记载的反射镜的镜面形状控制装置，其特征在于：作为前述本征函数，是周边固定圆形板的自由振动本征函数，采用定位在镜面内的贝塞尔·付里叶函数。

4.按权利要求1记载的反射镜的镜面形状控制装置，其特征在于：作为前述的本征函数，是中心有孔的无约束圆形状的自由振动的本征函数，采用定义在镜面内的贝塞尔·付里叶函数。

5.按权利要求1记载的反射镜的镜面形状控制装置，其特征在于：作为前述本征函数，是中心有孔的周边固定圆形板的自由振动本征函数，采用定义在镜面内的贝塞尔·付里叶函数。

6.按权利要求1记载的反射镜的镜面形状控制装置，其特征在于：作为前述本征函数，是无约束的矩形板的自由振动本征函数，采用定义在镜面内的二元付里叶函数。

7.按照权利要求1记载的反射镜的镜面形状控制装置，其特征在于：作为前述本征函数，是周边固定矩形板的自由振动本征函数，采用定义在镜面内的二元付里叶函数。

8.按权利要求1记载的反射镜的镜面形状控制装置，其特征在于：作为前述本征函数，是相对的一对边固定的矩形板的自由振动的本征函数，采用定义在镜面内的二元付里叶函数。