[发明专利]敏感元件与高压传感器的整体结构无效
| 申请号： | 96111857.1 | 申请日： | 1996-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN1147631A | 公开（公告）日： | 1997-04-16 |
| 发明（设计）人： | 让-伯纳德·阿维塞 | 申请（专利权）人： | 推进欧洲公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 刘志平 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 敏感 元件 高压 传感器 整体 结构 | ||
1.压力传感器包括：
具有接受欲测压力的进口(14)的传感器主体(10)；
具有硅衬底(15)的压力敏感元件，应变片(16)固定在硅衬底上；
敏感元件安装于其上的底座(17)；
和将底座与传感器主体相连接的连接另件(18；28)，
其特征在于，为了可靠地测量至少达到1000巴的高压，同时温度的调节变化在包括至少从4°K至473°K区间的范围，
连接另件(18；28)是弹性可变形的，以抵销底座(17)和传感器主体(10)之间的热膨胀差别，和
敏感元件压靠在一应力承受块(21)上，此块能承受由欲测压力作用在底座(17)和衬底(15)上的应力，而所述应力不是施加在弹性可变形连接另件上。
2.如权利要求1所述的传感器，其特征在于弹性另件包括弯曲金属箔另件(18；28)。
3.如权利要求2所述的传感器，其特征在于，弯曲金属箔另件(18；28)具有与底座(17)相连接的第一端部和与传感器主体金属另件(10b)相连接的第二端部。
4.如权利要求1或3所述的传感器，其特征在于，弯曲金属箔另件(18；28)在其端部之间肩靠在传感器主体(10)的内壁上。
5.如权利要求1至4中任一要求所述的传感器，其特征在于，敏感元件还包括硅制成的加强块(15’)，它被放置在硅衬底(15)和底座(17)之间，还在于底座是与加强块(15’)相连接。
6.如权利要求5所述的传感器，其特征在于，底座(17)由玻璃制成，并用阳极(Mallory式)焊连接在加强块(15’)上。
7.如权利要求1至6中任一要求所述的传感器，其特征在于，应力承受块(21)做成罩盖形状，它被封接在传感器主体(10)上，而敏感元件通过分隔板(22)靠压于其上。
8.如权利要求7所述的传感器，其特征在于，所述分隔板(22)由玻璃制成。
9.如权利要求7和8中任一条所述的传感器，其特征在于，所述分隔板(22)是通过胶合被粘结在衬底(15)上。
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