[发明专利]红外光源无效
申请号: | 96111435.5 | 申请日: | 1996-08-31 |
公开(公告)号: | CN1070608C | 公开(公告)日: | 2001-09-05 |
发明(设计)人: | 黑田晋一;佐藤秀树;佃康郎 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | G01J3/10 | 分类号: | G01J3/10;H05B3/28 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 萧掬昌,张志醒 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 红外 光源 | ||
1.一种红外光源,包括:
一个面板,由经烧结的氮化硅制成,其表面平坦,供发射红外光用,该面板的平坦表面上形成有氧化硅层,其厚度在3-20微米范围内;
一个加热元件,由金属制成,埋置在面板的平坦表面底下;以及
一对导电线路,用以将电流传送给加热元件。
2.如权利要求1所述的红外光源,其特征在于,所述加热元件由取梳状的金属线制成。
3.制造红外光源的一种方法,包括下列步骤:
制取一个组合件,即将一个金属加热元件和一对导电线路安置在一对氮化硅生坯板之间;
将组合件烧结,制取红外光源的面板;
在经烧结的面板的平坦表面上涂上硅酸盐溶液;和
将面板烘焙使硅酸盐溶液干燥。
4.如权利要求3所述的制造红外光源的方法,其特征在于,它还包括在经烧结的面板的平坦表面上形成氧化硅层的步骤。
5.如权利要求4所述的制造红外光源的方法,其特征在于,它还包括将面板通电对面板平坦表面上的氧化硅层进行老化的步骤。
6.如权利要求4所述的制造红外光源的方法,其特征在于,所述硅酸盐溶液为硅酸钠溶液。
7.如权利要求6所述的制造红外光源的方法,其特征在于,它还包括将面板通电对面板平坦表面上的氧化硅层进行老化的步骤。
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