[发明专利]等离子体发生器的起弧增强电路

权利要求书

1.一种用于等离子发生器的起弧增强电路，该类型发生器具有第一和第二输入引线以提供一种有着正与负电压峰值的交流波形，而且在其中起弧增强电路于第一和第二高压输出端之间给出起弧电压；起弧增强电路的特征在于；一组多个N个峰值检测电路装置(44、46、48、50)，其中每个都具有加有交流的第一和第二交流端口，而且每个都有正与负直流输出端(+，-)，在输出端上分别呈现所说波形的峰值的正与负电压；在所说的第一输入引线(34)与所说的N个峰值检测电路装置(44、46、48、50)中的一个交流端口之间分别配置第一组多个N个隔离电容器(52、54、56、58)；在所说的第二输入引线(36)与所说的N个峰值检测电路装置(44、46、48、50)中的其余交流端口之间分别配置第二组多个N个隔离电容器(60、62、64、66)；所说的N个峰值检测电路装置(44、46、48、50)将它们的直流输出端口(+，-)串联起来，即将所说的峰值检测电路装置中第一个(44)的正输出端(+)连接到第一高电压输出端(40)，将所说的峰值检测电路装置中第N个(50)的负输出端(-)连接到第二高电压输出端(42)，而对其余的正与负输出端，则顺次将负端接到下一个峰值检测电路装置(46，48)的正输出端。

2.按权利要求1的起弧增强电路，进一步的特征在于：所说的第一与第二隔离电容器(52、54、56、58和60、62、64、66)都有大约三纳法拉量级的电容量。

3.按权利要求1与2的起弧增强电路，其特征在于：所说的峰值检测电路装置(44、46、48、50)每一个都包括一个全波整流器(44a、44b、44c、44d，等等)和一个电容器(68、70、72、74)连接于其正(+)与负(-)直流输出端之间。

4.按权利要求1、2或3的起弧增强电路，其特征在于：所说的第一和第二输入引线(34、36)是变压器的次级输出端。

5.按前述任何权利要求的起弧增强电路，其特征在于：所说的第一与第二高电压输出端(40，42-OUT1，OUT2)被连接到一直流电源(28)的直流输出端(30、32)上。

6.一种在低气压等离子体室引燃等离子体的方法，此方法初始向所说等离子室的电极上施加远远超过等离子体运行电压的起弧电压，然后在所说室中产生等离子体时自动将所加电压降低到所说的运行电压，在其中，由运行的供电源可以获得一个显示正负峰值的交流波形；其特征在于以下步骤：

通过隔离电容器把所说的交流波形加到多个峰值检测电路ac输入端；

在每个所说的峰值检测电路中产生整流的直流电压；

将所述的峰值检测电路的各整流直流电压组合到一起；而且

把组合的直流电压作为所说的起弧电压并以高电压和高阻抗将其施加到所说的等离子体室的电极上，使所说的起弧电压在启动条件下起作用去引燃等离子体放电，但是一旦所说的等离子体被引燃并存在，就被所说的运行电压支配。