[发明专利]磁头及其制造方法

说明书

本发明涉及一种磁头及其制造方法，尤其涉及一种在其内通过形成一种氧化钛层和钛层来改善类金刚石碳层的附着力的磁头及其制造方法。

一般来说，盒式磁带录相机、音频磁带播放机以及计算机磁盘驱动器都采用磁头作为完成信息的磁记录和读出的装置。该磁头主要是由磁金属材料即铁氧体组成。例如，在盒式磁带录相机中，录相带的磁层是通过在聚脂基础上使用树脂粘合剂均匀地沉积精细的铁磁粉末而形成的。该磁头由接触录相带的磁层的铁氧体制成，因而能在其上读出被记录的信息。

如上所述，磁头连续地接触涂有磁层的记录媒体，这样使得接触该记录媒体的磁头表面可能被磨损。为防止磁头磨损，将具有高度硬度的类金刚石碳(DLC)层沉积在由铁氧体制成的磁头表面。

图1是一种由本发明者提供的说明制造盒式磁带录相机的磁头的方法流程图。图2详细地示出图1的芯片铁心的制造步骤11的过程，而图3是根据图1的方法被制造的磁头的透视图。

首先参照图2，在由铁氧体原料块21a和21b制造磁头的芯片铁心时绕组槽和磁迹通路被形成在其对置的表面上，然后这些表面被抛光，从而形成半个芯片铁心21a′和21b′。将氧化硅(即非磁物质)层22a和22b沉积在各自抛光的表面，并将这样加工的铁氧体块21a″和21b″结合在一起。芯片铁心块24是经过成型和抛光的预定加工而形成的，然后被切片成芯片铁心25。所得到的芯片铁心包括一个上表面26和一个缝隙27。

现在参照图1，在以上步骤11中制造芯片铁心之后，在步骤12将该芯片铁心与衬底装配在一起。此外，芯片铁心25经过紫外线焊接被连接到磁头基体(未示出)上。然后，在步骤13中线圈缠绕之后，基本上完工的磁头动态特性将在步骤14中被评估，以便筛选出低劣的产品从而防止最终将不能进行最后分析的磁头进行不必要的加工。在步骤15，具有绕组的预筛选的芯片铁心，尤其是其上表面，通过安装在一个槽内的超声波发生器所产生的气泡进行洗涤，然后通过一般的热空气干燥法被烘干。在步骤16，通过具有电离氩气体(Ar⁺)的腐蚀首先将上表面26弄光滑，并为了涂敷均匀在其上经过两次沉积形成DLC层。该沉积工艺是使用如化学蒸汽沉积(CVD)和物理蒸汽沉积(PVD)的普通方法来完成的。为检验最后的磁头特性，在步骤17将执行另一动态特性检验。此后，根据步骤17中所得到的动态特性，通过选择，将磁头配对一起安装在一个磁头鼓中。

图3示出由上述步骤所制造的磁头。在图3中，磁头是由芯片铁心25组成，芯片铁心25包括由宽度为W的缝隙27间隔开的两个铁心部件25a和25b，线圈28缠绕在磁心部件周围，并且DLC层29沉积在上表面26。另外，一个控制该缝隙的最上面的长度L的凹槽30在上表面26形成，并用加固玻璃(未示出)填满。

用以上方法制造的磁头的DLC层，像固态非晶形薄膜那样，具有像金刚石同样的硬度、润滑特性、抗磨损、电隔离特性以及化学稳定性。但是，即使高硬度的DLC层能有效防止磁头的磨损，由于当磁头接触录相磁带时产生一种力，DLC层可能很容易地与铁氧体分离开来，而且，与铁氧体铁心分开的DLC层的铁氧体粒子将在磁头和记录媒体之间起着杂质的作用。

当解决以上问题，本发明的第一个目的是提供一种类金刚石碳层的磁头，该DLC层对接触磁媒体的芯片铁心表面的粘着力将得到改善。

本发明的第二个目的是提供一种具有在芯片铁心和类金刚石碳层表面之间形成的钛层和氧化钛层的磁头。

本发明第三个目的是提供一种在芯片铁心和类金刚石碳层表面之间具有钛层和氧化钛层的磁头制造方法。

为了实现第一和第二目的，提供一种磁头，包括：芯片铁心；缠绕在所述芯片铁心周围的线圈；以及在所述芯片铁心的与磁记录媒体接触的上表面上形成的类金刚石碳(DLC)层，其特征在于，在所述的DLC层和所述芯片铁心表面之间形成氧化钛层和钛层。

可取的是，氧化钛层和钛层的厚度各自为20(埃)到50，最好各自为20。

DLC层的厚度最好为150到200。

为了实现第三个目的，提供一种磁头制造方法，包括以下步骤：