[发明专利]将放电约束在互作用空间内的约束装置

权利要求书

1.一种将放电基本上约束在互作用空间的约束装置，包括：

正圆筒体，它的各部分限定了多个从其内表面通到其外表面的分开的平行通道，所述通道在与穿过其中的气流方向垂直的方向上是彼此隔开的；

所述约束装置放在一个等离子体处理装置中彼此隔开的电极之间，所述分开的平行通道是这样均衡配置的，使得通过在一气态介质中以射频引起的放电所产生的带电粒子穿过所述约束装置的分开的平行通道时将所述带电粒子中和，从而将放电基本上约束在所述互作用空间内。

2.如权利要求1所述的约束装置，其特征在于，所述圆筒体包括一介质材料。

3.如权利要求1所述的约束装置，其特征在于，所述穿过约束装置的分开的平行通道包括径向伸展的通道。

4.如权利要求3所述的约束装置，其特征在于，该约束装置包括至少一个具有上表面和下表面的约束圆环，该至少一个约束圆环放置得使它限定出多个分布在圆周上的分开的通道，每一个通道都在位于所述至少一个约束圆环的上表面和下表面之间并基本上与它们平行的分开的平面上沿径向从所述约束装置的内表面延伸到其外表面。

5.如权利要求4所述的约束装置，其特征在于，其中至少有三个约束圆环。

6.如权利要求4所述的约束装置，其特征在于，其中至少有六个约束圆环。

7.如权利要求1所述的约束装置，其特征在于，还配有一个等离子体处理装置，所述约束装置设置在该等离子体处理装置内，所述等离子体处理装置包括：

包容用于处理工件的气态介质的外壳装置；和

一对平行的电极，其间限定了互作用空间，其中，当提供在两电极之间建立放电并且使气态介质电离的射频能量时，产生可以处理支持在一个电极上的工件的等离子体。

8.如权利要求7所述的约束装置，其特征在于，所述均衡配置的分开的平行通道是这样配置的，使得所述约束装置运行时，退出的带电粒子在分开的平行通道的任一通道中必须走过的距离远远大于它的平均自由程。

9.如权利要求7所述的约束装置，其特征在于，还包括第一和第二射频源，所述第一射频源具有比第二射频源低的频率，并通过一阻抗匹配电路与支持工件的电极耦合和通过一低通滤波器回到地；第二射频源通过一阻抗匹配电路与第二电极耦合和通过一高通滤波器回到地。

10.如权利要求9所述的约束装置，其特征在于，所述第一射频源的频率比在气态介质中产生的离子所特有的离子过渡频率低。

11.如权利要求9所述的约束装置，其特征在于，所述第一和第二射频源的频率之比大于10比1。

12.如权利要求9所述的约束装置，其特征在于，所述第一射频源的频率在约1.5和2.5兆赫的范围内，而第二射频源的频率在约25和30兆赫的范围内。

13.如权利要求12所述的约束装置，其特征在于，所述第一射频源的频率约为2兆赫，而第二射频源的频率约为27.12兆赫。