[发明专利]制造彩色阴极射线管荧光屏的方法和系统

说明书

本发明涉及制造彩色阴极射线管荧光屏的方法和系统，更具体讲是涉及彩色阴极射线管的荧光屏的效率和质量的改进和制造彩色阴极射线管的荧光屏的曝光系统。

JP-58186133A公开了一种在x，y，z和旋转方向上位置可调的掩模和光源的曝光装置，该掩模有预定曲度，该曝光装置上安装着面板。

US-5,158,491公开了一种制造彩色阴极射线管荧光屏的具有表面平坦的标准化模板的日光系统，同时还描述了分别将四个曝光系统用于制造黑底，及红、绿、蓝三个彩色荧光层的技术。

图13是制造彩色阴极射线管的荧光屏所用的现有曝光系统的剖视图。在图13中，参考数字1表示用于支撑该曝光系统的构件的盒状基体；数字2表示设置于盒状基体1中并包括一个汞灯的光源；数字3表示光强校正滤光片，它固定在盒状基体1中，用于调整光源2射出的光通量分布；数字4表示第一校正透镜，它固定在盒状基体1中，用于校正曝光光束的光路，从而校正侧边电子束的轰击位置；数字5表示固定在盒状基体1中的第二校正透镜，它用于校正曝光光束的光路，以校正电子束的轰击位置；数字6表示位于盒状基体1的开口中的罩玻璃，用于容许来自于光源2的光穿过并用于防尘；数字7表示要被曝光的玻璃面板；数字8表示盒状基体1顶部的支撑部分，用于支撑玻璃面板7；数字9表示选色机构(例如荫罩)，它与玻璃面板7一一对应并安装在玻璃面板7的内表面上。第一校正透镜4和第二校正透镜5组成一个光路校正透镜系统。玻璃面板7装在彩色阴极射线管前部。虽然图13中未示出，但罩玻璃6是由受于驱动而旋转的，以防止由于尘物引起的曝光故障。

下面描述制造荧光屏的方法。首先形成黑色基底。清洗玻璃面板7并使之干燥，以除去其表面上的湿气。为形成光致抗蚀剂膜，将光致抗蚀剂材料涂敷至玻璃面板7上并使之干燥。在选色机构9安装至玻璃面板7的内表面上的情况下，使玻璃面板7上的光致抗蚀剂曝光。为进行曝光，使其中装有选色机构的玻璃面板7置于图13中所示的曝光系统上。玻璃面板7与选色机构9一一对应。从光源2射出的光由光强校正滤光片3进行光通量分布调整，尔后由包括第一校正透镜4和第二校正透镜5的透镜系统进行光路校正。随后，光穿过罩玻璃6和选色机构9中的槽或点并到达玻璃面板7的内表面上的适当位置。曝光之后，取下选色机构9，并使玻璃面板7上的光致抗蚀剂膜显影。在玻璃面板7上形成石墨膜并蚀刻。这就制成了黑色基底。

然后形成荧光条或点，在其上形成了黑色基底的玻璃面板7上涂敷可发绿光的荧光材料。将选色机构9装在玻璃面板7的内表面上，并以与形成黑色基底相同的方式对玻璃面板7上的荧光材料进行曝光和显影。对发蓝光和红光的荧光材料进行相同的操作。然后在玻璃面板7上涂漆并淀积铝，这样就制成了荧光屏。应当指出的是，在该曝光系统中的光路校正是通过光源2的位置变化以及包括第一校正透镜4和第二校正透镜5的透镜系统实现的。

在现有的制造彩色阴极射线管的荧光屏的方法及其所用的现有曝光系统中，每一次为形成荧光层和黑色基底层而对玻璃面板曝光时，均要将选色机构9安装至玻璃面板7上并再从玻璃面板7卸下。多次将选色机构9安装至玻璃面板7并再从面板7上卸下会使其相对于玻璃面板7偏移，这使得要形成的荧光层和黑色基底层具有低的再现性，并导致以下不良结果：黑色基底层和荧光层之间的相对位置失调、由于选色机构9的装卸造成的故障、以及由于装卸时间造成的工作时间浪费。例如，黑色基底层和荧光层之间具有严重的位置失调的荧光屏只能作为不合格品废弃，而具有轻度的相对位置失调的荧光屏则需要在除去黑色基底层和荧光层之后重新制备。

本发明的目的是要提供一种制造彩色阴极射线管荧光屏的方法，此荧光屏是通过在彩色阴极射线管的面板内表面上形成一个黑色基底、多个荧光条或多个荧光点制成的。根据本发明的第一方面，该方法包括以下步骤：(a)在面板上安装一个选色机构，使面板与该选色机构配对；(b)借助拍摄选色机构的一个参考槽或点的图象，计算一个校准值；(c)从面板上去掉所述选色机构；(d)将不带选色机构的面板安装在具有位置可调的母掩模的曝光系统中；(e)根据校准值调整位置可调的母掩模的位置；和(f)使带有位置可调的母掩模的面板曝光，以在面板内表面上形成黑色基底、多个荧光条或多个荧光点。

根据本发明的第二方面，优选方式是，所述曝光系统的位置可调的母掩模具有弯曲的主表面。

根据本发明的第三方面，优选方式是，所述曝光系统的位置可调的母掩模具有平坦的主表面。