[发明专利]基片盒和对接系统无效

专利信息
申请号: 95195616.7 申请日: 1995-10-10
公开(公告)号: CN1047894C 公开(公告)日: 1999-12-29
发明(设计)人: 丹尼尔·A·巴布斯;里查德·E·舒尔特;约翰·V·施特林 申请(专利权)人: 渐进系统技术公司
主分类号: H02P7/00 分类号: H02P7/00;B65B7/00;B65B57/00
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 张祖昌
地址: 美国德*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 基片盒 对接 系统
【权利要求书】:

1.一种用于容纳许多基片的盒子,包括:

具有内部空间和一开口的容器;

许多装在上述容器中的基片支架,用于在上述内部空间中装放和支承上述许多基片,并使上述许多基片中的各基片互相隔开一定距离;以及

安装于上述容器上的门组件;

其特征在于:上述门组件是可转动并可收缩地安装于上述容器上的。

2.如权利要求1所述的盒子,其特征在于,上述许多基片是平板显示片。

3.如权利要求1所述的盒子,其特征在于,上述许多基片是半导体晶片。

4.如权利要求1所述的盒子,其特征在于,上述每个晶片支架均包括许多隔开的搁板。

5.如权利要求1所述的盒子,其特征在于,上述门组件包括:

门;

锁闩组件,用于将上述门固定在上述关闭位置;

密封件,用于密封上述容器的开口和上述门,以便在上述门处于关闭位置时使上述内部空间与周围大气分开。

6.如权利要求5所述的盒子,其特征在于,上述密封件具有:

一个周边边缘;和

一种柔性材料,在上述门处于关闭位置时,此柔性材料对接上述周边边缘。

7.如权利要求1所述的盒子,其特征在于,它还包括装在上述容器上的存储器件,用于储存上述容器中的上述基片的信息。

8.一种对接单元,用于容放装有物品的盒子和操作该盒子,使得可以接近还在盒子中的物品,该对接单元包括形成出入区的隔板组件和装在上述隔板组件上用于装放盒子的托盘组件,该盒子包括门和装放物品的内部空间,其特征在于,该对接单元包括:

上述托盘组件用于在盒子装在上述托盘组件上时使盒子可以在靠近上述隔板组件的最初的出入位置和在上述隔板组件内的插入的出入位置之间水平运动;以及

装在上述隔板组件上的门驱动组件,用于在盒子位于上述最初出入位置时连接盒子门和打开与关闭该盒子门,其中,当盒子门打开时盒子的内部与上述出入区流体相通。

9.如权利要求8所述的对接单元,其特征在于,上述托盘组件包括:

导向装置;

接收和固定盒子的托盘,上述托盘滑动地接合上述导向装置;

在操作上接合上述托盘的传动皮带轮装置;

在操作上接合上述传动皮带轮装置的变速箱;

在操作上接合上述变速箱的托盘马达,用于使盒子在上述最初出入位置和上述插入出入位置之间移动。

10.如权利要求9所述的对接单元,其特征在于,上述托盘组件还包括:

具有导轨的上述导向装置;

装在上述托盘上的轴承,用于滚动接触上述轨道。

11.如权利要求8所述的对接单元,其特征在于,上述门驱动组件包括:

连接盒子门的转动装置;

操作时接合上述转动装置的门马达,用于转动地打开和关闭盒子门。

12.如权利要求11所述的对接单元,其特征在于,上述转动装置包括:可转动地连接于上述隔板组件上的出入门,该出入门用于在其关闭位置时封闭上述出入区。

13.如权利要求11所述的对接单元,其特征在于,盒子包括连接于盒子门的门传动组件,当盒子处于上述最初出入位置时,该盒子门在操作上接合上述转动装置;上述门驱动组件打开和关闭上述盒子门。

14.如权利要求8所述的对接单元,其特征在于,盒子包括锁定盒子门的锁闩,上述对接单元还包括:

凸轮随动组件,它装在上述托盘组件上,并在操作上接合门的锁闩,以便在盒子门处于上述最初出入位置时锁定和脱开盒子门;

凸轮组件,装在上述隔板组件上,并在操作时接合上述凸轮随动组件。

15.如权利要求8所述的对接单元,其特征在于,盒子包括装在盒子上的存储器件,用于储存盒子中物品的信息,上述对接单元还包括:

装在上述托盘组件上的通信链路,用于在将盒子放在上述托盘组件上时电连接上述存储器件;

电连接上述通信链路的处理系统,其中上述处理系统在盒子位于上述托盘组件上时检测上述存储器件和盒子的存在,而且上述处理系统随后检索上述存储器件中的上述储存信息。

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