[发明专利]温差发电装置的制造方法无效
申请号: | 95193087.7 | 申请日: | 1995-05-16 |
公开(公告)号: | CN1052345C | 公开(公告)日: | 2000-05-10 |
发明(设计)人: | 渡边滋;永田洋一 | 申请(专利权)人: | 时至准钟表股份有限公司 |
主分类号: | H01L35/32 | 分类号: | H01L35/32;H01L35/34 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 范本国 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 温差 发电 装置 制造 方法 | ||
1.一种温差发电装置的制造方法,其特征在于:通过在基板上形成由金属材料构成的电极膜的步骤;利用感光性树脂在该电极膜上形成带状图形的步骤;利用上述电极膜、采用电镀法在上述感光性树脂的开口部形成由第1热电材料构成的第1热电体的步骤;在上述感光性树脂及第1热电体上涂敷热固型树脂的步骤;以及将上述基板和电极膜溶解并除去的步骤,形成第1热电结构体,
通过在与上述基板不同的基板上形成由金属材料构成的电极膜的步骤;利用感光性树脂在该电极膜上形成带状图形的步骤;利用上述电极膜、采用电镀法在上述感光性树脂的开口部形成由第2热电材料构成的第2热电体的步骤;在上述感光性树脂及第2热电体上涂敷热固型树脂的步骤;以及将上述基板和电极膜溶解并除去的步骤,形成第2热电结构体,
将多个上述第1热电结构体和第2热电结构体互相重叠贴合、并按规定的长度切断后,利用配线电极将相邻的上述第1热电体和第2热电体的断面互相结合起来,形成串联连接的多个热电偶作为温差发电元件。
2.如权利要求1所述的温差发电装置的制造方法,其特征在于:
在形成上述第1热电结构体时,进行在上述的感光性树脂和第1热电体上粘接绝热板的步骤,代替在上述的感光性树脂和第1热电体上涂敷热固型树脂的步骤;另外,
在形成上述第2热电结构体时,进行在上述的感光性树脂及第2热电体上粘接绝热板的步骤,代替在上述的感光性树脂和第2热电体上涂敷热固型树脂的步骤。
3.如权利要求2所述的温差发电装置的制造方法,其特征在于:
在进行溶解除去上述的两个基板以及电极膜的步骤之前,在通过夹入绝热板把上述两个基板中的形成有上述第1热电体的面和形成有上述第2热电体的面粘接之后,进行溶解除去上述两个基板及各个电极膜的步骤,代替形成上述的第1热电结构体和第2结构体的步骤,形成复合热电结构体;
将代替多个上述的第1热电结构体和第2热电结构体的多个上述的复合热电结构体互相重叠贴合,利用配线电极将在带状的纵向端面上相邻的上述第1热电体和第2热电体互相结合起来,形成串联连接的多个热电偶作为温差发电元件。
4.如权利要求1~3中的任一项所述的温差发电装置的制造方法,其特征在于:
执行在导电性基板上用感光性树脂形成带状图形的步骤,以代替在上述的基板上形成由金属材料构成的电极膜及在该电极膜上用感光性树脂形成带状图形这二个步骤。
5.一种温差发电装置的制造方法,其特征在于:通过在表面绝缘或整体绝缘的基板上形成金属膜的步骤;
用蚀刻法将所形成的金属膜加工成互相嵌入结合的梳齿状的第1电极膜和第2电极膜的步骤;
用感光性树脂在上述第1电极膜和第2电极膜的梳齿状的间隙部分形成带状图形的步骤;
用上述第1电极膜在上述感光性树脂的开口部的该第1电极膜上采用电镀法形成由第1热电材料构成的第1热电体的步骤;
用上述第2电极膜在上述感光性树脂的开口部的该第2电极膜上采用电镀法形成由第2热电材料构成的第2热电体的步骤;
在上述感光性树脂及第1、第2热电体上涂敷热固型树脂的步骤;
以及将上述基板、第1电极膜和第2电极膜溶解并除去的步骤,形成热电结构体;
将多个该热电结构体互相重叠贴合、并按规定的长度切断后,利用配线电极将相邻的第1热电体和第2热电体的断面互相结合起来,形成串联连接的多个热电偶作为温差发电元件。
6.如权利要求5所述的温差发电装置的制造方法,其特征在于:
执行在上述的感光性树脂及第1、第2热电体上粘接绝热板的步骤,代替在上述的感光性树脂及第1、第2热电体上涂敷热固型树脂的步骤。
7.如权利要求5所述的温差发电装置的制造方法,其特征在于:
执行通过绝热板将分别在上述各步骤中形成了第1热电体和第2热电体的2个基板粘接起来的步骤,以取代在上述的感光性树脂及第1、第2热电体上涂敷热固型树脂的步骤;以后,
执行将上述各基板、第1电极膜和第2电极膜溶解并除去的步骤,形成代替上述的热电结构体的复合热电结构体,
将多个代替多个上述的热电结构体的复合热电结构体互相重叠贴合、并按规定的长度切断后,利用配线电极将相邻的第1热电体和第2热电体的断面互相结合起来,形成串联连接的多个热电偶作为温差发电元件。
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