[发明专利]测量触针组件

权利要求书

1.用于一种测量仪器的触针组件，测量仪器通过在表面上移动触针的尖来测量表面特征，

触针组件包括可绕着一个枢轴转动并且带有触针尖的一个触针臂，或是包括一个可以朝向或是离开表面大体上做直线运动并且带有触针尖的触针，在触针尖没有运动时用一个预定的力把触针尖压在被测表面上，使触针尖的理论加速度或是触针尖的近似的理论加速度大于1.5g，其中的g是自由落体的重力造成的加速度，并且：

在触针臂绕枢轴转动的情况下，触针尖的理论加速度是由预定量的力乘以枢轴到针尖的触针臂长度的平方再除以触针臂的转动惯量所限定的数值；

在触针大体上做直线运动的情况下，触针尖的理论加速度是由预定的力除以触针质量所限定的数值；并且

触针尖近似的理论加速度(仅用于触针臂绕枢轴转动的情况下)是由预定量的力的三倍除以触针臂质量(忽略从枢轴到针尖的半路上小于十分之一范围内的任何质量)所限定的数值。

2.按照权利要求1的触针组件，其中上述理论加速度或近似的理论加速度至少为5g。

3.按照权利要求1的触针组件，其中上述理论加速度或近似的理论加速度至少为10g。

4.按照权利要求1的触针组件，其中上述理论加速度或近似的理论加速度至少为20g。

5.按照权利要求1到4中任意一项的触针组件，其中包括一个绕枢轴转动的触针臂，并且触针臂上从枢轴到触针尖的长度不大于2cm。

6.按照权利要求1到4中任意一项的触针组件，其中包括一个绕枢轴转动的触针臂，并且触针臂上从枢轴到触针尖的长度不大于1cm。

7.用于一种测量仪器的触针组件，测量仪器通过在表面上移动触针的尖来测量表面特征，

触针组件包括可绕着一个枢轴转动并且带有触针尖的的一个触针臂，触针臂质量(忽略从枢轴到针尖的半路上小于十分之一范围内的任何质量)不大于25毫克。

8.按照权利要求7的触针组件，其中触针臂上从枢轴到触针尖的长度不大于2cm。

9.按照权利要求7的触针组件，其中触针臂上从枢轴到触针尖的长度不大于1cm。

10.用于一种测量仪器的触针组件，测量仪器通过在表面上移动触针的尖来测量表面特征，

触针组件包括一个可以朝向或是离开表面大体上做直线运动并且带有触针尖的触针，触针的质量不大于25毫克。

11.按照权利要求1到6中任意一项的触针组件，其中包括一个绕枢轴转动的触针臂，并且触针臂的质量(忽略从枢轴到针尖的半路上小于十分之一范围内的任何质量)不大于25毫克。

12.按照权利要求1到4中任意一项的触针组件，其中包括一个大体上直线运动的触针，并且触针臂的质量不大于25毫克。

13.按照权利要求7到12中任意一项的触针组件，其中上述质量不大于20毫克。

14.按照权利要求7到12中任意一项的触针组件，其中上述质量不大于10毫克。

15.按照权利要求7到12中任意一项的触针组件，其中上述质量不大于5毫克。

16.按照任意一项在前的权利要求所述的触针组件，其中包括偏置装置，它在触针重量的任何作用之外对触针尖压在被测表面上的力起作用。

17.按照权利要求16的触针组件，其中偏置装置包括使触针尖朝着表面偏置的弹簧装置。

18.按照任意一项在前的权利要求所述的触针组件，其中，在触针尖没有任何运动时测得的触针尖压住表面的力不大于1克的力。

19.按照权利要求18的触针组件，其中上述的力是不大于500毫克的力。

20.按照权利要求18的触针组件，其中上述的力是不大于200毫克的力。

21.按照权利要求18的触针组件，其中上述的力是不大于100毫克的力。