[发明专利]采用气体注射放电的净化系统和方法无效
| 申请号: | 95191143.0 | 申请日: | 1995-01-11 |
| 公开(公告)号: | CN1119290C | 公开(公告)日: | 2003-08-27 |
| 发明(设计)人: | 休.W.格林;小保罗.E.奇兹姆 | 申请(专利权)人: | 科学应用公司 |
| 主分类号: | C02F1/46 | 分类号: | C02F1/46;C02F1/467 |
| 代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 林潮 |
| 地址: | 暂无信息 | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 采用 气体 注射 放电 净化系统 方法 | ||
【说明书】:
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