[发明专利]包含消气剂的场发射平板显示器及其制造方法

权利要求书

1.一种带有一内部真空空间的场发射平板显示器，其中包括有：

a)一层活性荧光粉和大量在电场作用下发射电子的微阴极(MT)；

b)一组电引线(P)和一真空稳定器(G)；

其特征是：所述真空稳定器(G)由在一个支撑层上的不挥发消气材料的多孔层组成，多孔层有20到180μm厚，所述多孔层被安置在一个独立于微阴极，荧光粉和引线的区域中。

2.根据权利要求1所述的显示器，其特征是：所述消气材料(G)由分别从下面两组中选择的微粒的烧结混合物组成：

A)锆和/或钛和/或钍和/或相应的氢化物和/或它们的组合；

B)从下面选择的基于锆和/或钛的消气合金：

i)Zr-Al合金和/或Zr-Ni合金和/或Zr-Fe合金和/或Zr-V合金；

ii)Zr-M1-M2合金，其中M1从V和Nb中选，M2从Fe和Ni中选择；

iii)Zr-Ti-Fe合金；

iv)它们的组合物。

3.根据权利要求1所述的显示器，其特征是：所述内部空间由两块由绝缘材料组成的薄板(SCH，S)来限定，两块板相互平行，沿着周边被密封，并且被一个厚度有几十到几百微米的真空空间隔开，其中：第一块板(SCH)支撑着所述荧光粉，第二块板(S)除了支撑一层或多层所述不挥发消气材料的多孔层，还支撑所述微阴极(MT)。

4.根据权利要求1所述的显示器，其特征是：不挥发消气材料的多孔层由一个由单一金属或多金属薄条(NS)组成的5～50μm厚的衬底来支撑。

5.根据权利要求4所述的显示器，其特征是：所述衬底由从镍、钛、钼、锆、镍铬合金和基于铁的合金中选出的一种或多种金属制成。

6.根据权利要求4所述的显示器，其特征是：所述衬底包含有孔或窄缝。

7.根据权利要求2所述的显示器，其特征是：Zr-M1-M2合金是Zr-V-Fe合金。

8.根据权利要求3所述的显示器，其特征是：第二块板(S)还支撑着产生所述电场的大量网状电极。

9.根据权利要求1或2的显示器的制造方法，包括步骤：

a)制造所述多孔层是通过在衬底上(Si；NS)淀积不挥发消气材料(G)，并且通过在合适的真空炉中烧结淀积材料而得到的；

b)由此所获多孔层同其它内部元件一起被放置在显示器的所述内部空间中；和

c)所述内部空间通过真空泵被抽成真空，并在抽真空的过程中被密封，

其特征是：在所述衬底上淀积所述消气材料是通过电泳现象来完成的或是通过人工或机械的方法施加在悬浮装置中的消气材料微粒的悬浮物来完成。

10.按照权利要求9所述的方法，其特征是：消气材料的淀积通过喷涂来完成。

11.按照权利要求9所述的方法，其特征是：不挥发消气材料(G)的多孔层是通过将层连接到一条或多条电引线上并通过利用层本身的电阻率来进行热激活的。

12.按照权利要求9所述的方法，其特征是：不挥发消气材料(G)的多孔层是这样来热激活的：在排气操作的过程中，或在对所述内部空间进行四周密封的玻璃料焊接操作过程中，在抽真空同时在温度300到450℃之间进行。

13.按照权利要求9所述的方法，其特征是：被支撑的消气材料多孔层是这样获得的：

a)在一悬浮装置中准备好非挥发性消气材料微粒的悬浮物；

b)通过喷涂技术用所述悬浮物覆盖一个支撑衬底；

c)烧结所述的覆盖层。

14.按照权利要求13所述的方法，其特征是：所述微粒是由下列成分组成的混合物：

H)钛氢化物微粒，平均尺寸在1到10μm之间，表面积为1～8.5m²/g；

K)消气合金微粒，平均尺寸在5～15μm之间，表面积为0.5～2.5m²/g；

其中所述的消气合金在下列材料中选择：Zr-Al合金，Zr-V合金，Zr-V-Fe合金和它们的组合物，并且其中H微粒和K微粒之间的重量比在1∶10到10∶1之间。