[发明专利]旋转阳极式X射线管及其制造方法

说明书

本发明涉及旋转阳极式X射线管及其制造方法。

众所周知，旋转阳极式X射线管是利用具有轴承部的旋转体和固定体支持圆盘状的阳极靶、通过给配置在真空容器外的定片的电磁线圈通电而高速旋转使从阴极发射出来的电子束射到阳极靶面上，辐射出X射线。轴承部由球轴承那样的滚动轴承或在轴承面上形成螺旋沟并将镓(Ga)、或镓-铟-锡(Ga-In-Sn)合金那样的液体金属润滑剂充满轴承间隙的动压式滑动轴承构成。使用后者的滑动轴承的例子，已在例如特公昭60—21463号、特开昭60—97536号、特开昭60—117531号、特开昭62—287555号、USP 5，068，885号、USP 5，077，776号、特开平2—227948号、或特开平2—244545号各公报等中公开了。

在上述各公报中公开的旋转阳极式X射线管中，具有螺旋沟的动压式滑动轴承部的相嵌合的轴承面构成为保持着比方说约20微米的微小轴承间隙，液体金属润滑剂填充在螺旋沟和轴承间隙内。如果该润滑剂不能充满到整个轴承间隙内，当然就不能获得足够的滑动轴承的动压，从而不能维持稳定的动压式滑动轴承的动作。并且，在极端的情况下，有时轴承面之间将会发生相互卡住、成为不能转动状态或者造成损伤。为了防止发生这种现象，并且即使长时间的工作也可以通过循环等向轴承部供给足够量的液体金属润滑剂，可以设置与轴承部连通的润滑剂收容室。

在组装X射线管时，必须使轴承结构部件及润滑剂内的气体全部释放出来。如果气体释放得不充分，有时一部分液体金属润滑剂就会和气泡一起从滑动轴承部吹出到外部，飞散到真空容器内空间中。如果发生这种现象，就不能获得滑动轴承的长时间的稳定的动压轴承作用，并且，由于飞散到X射线管的真空容器内空间的液体金属润滑剂的影响，将会造成严重影响耐压性能的致命的损坏。

本发明的目的旨在提供一种旋转阳极式X射线管及其制造方法，可以解决上述问题，在组装X射线管时特别是在排气工序可以将轴承结构部件及液体金属润滑剂内的气体全部排出，并且在支承X射线管后液体金属润滑剂也不会漏出，从而可以维持稳定的支承动作。

本发明的旋转阳极式X射线管从在大致呈圆柱状的固定体的中心部区域形成的润滑剂收容室设置向在固定体与包围该固定体的旋转体的开放一侧端部之间构成的动压式滑动轴承部的防止润滑剂漏出用的微小间隙的外侧区域开口的细通气孔。

另外，本发明的旋转阳极式X射线管的制造方法的特征在于：向润滑剂收容室和滑动轴承部供给液体金属润滑剂后，在将这些组装件封入真空容器内、然后将该真空容器内进行排气的工序中，具有使通气孔的开口位于上方进行排气的工序。

按照本发明，在排气工序可以可靠地将从轴承结构部件及液体金属润滑剂中释放出来的气体通过从润滑剂收容室与真空容器的内部空间连通的通气孔排出。并且，在该排气工序和支承X射线管之后都可以防止液体金属润滑剂向真空容器内空间漏出，因此，可以获得维持稳定的支承动作的旋转阳极式X射线管。

图1是本发明实施例的主要部分的纵剖面图。

图2是图1的一部分的放大图。

图3是图1的主要部分的斜视图。

图4是图1的实施例在排气工序的状态的侧面图。

图5是在相同的排气工序的状态的正面图。

11…阳极靶

12…旋转体

15…固定体

16…推力轴承

19…真空容器

22～25…滑动轴承部

26…润滑剂收容室

28…通气孔

29…杆

G…防止润滑剂漏出用的微小间隙

L…液体金属润滑剂

下面，参照附图说明其实施例。相同的部分用同一符号表示。由重金属构成的圆盘状阳极靶11利用螺母14与设在大致呈有底圆筒状的旋转体12的一端的突出的旋转轴13固定为一体。旋转体12是由铁合金构成的内圆筒12a和由铜构成的外圆筒12b双层嵌合固定而成的。由铁合金构成的大致呈圆柱状的固定体15插入到该旋转体12的内侧。在固定体15的图示下端部即与旋转体的圆筒状端部12c对应的部分构成外径缩小的固定体小直径部分15a。并且，在旋转体的圆筒状端部12c，利用多个螺钉将靠近并包围固定体小直径部分15a的实际上将该端部12c闭塞的推力轴承16与其固定为一体。