[发明专利]用于使多面镜旋转的驱动电动机

权利要求书

1.一种用于使多面镜旋转的驱动电动机，包括：一个定子、一个转子和一个设置在定子和转子之间用于支承转子旋转的半球形流体轴承，

其特征为，所述半球形流体轴承包括：

一个上内环和一个下内环，该上内环和下内环是半球形的并且安装在一个固定于所述转子的轴上，使上内环和下内环的外表面相互面对；和

一个保持在所述定子中用于支承所述上内环和下内环的旋转的外环，该外环具有对应于所述上内环和下内环的外表面形状的半球形内表面，以便维持所述上内环和下内环之间的预定间隙。

2.根据权利要求1所述的驱动电动机，其特征为：所述内环和外环中的至少一个具有在其润滑表面上形成的钛或陶瓷的第一膜涂层。

3.根据权利要求2所述的驱动电动机，其特征为：所述外环是由陶瓷材料形成的。

4.根据权利要求2所述的驱动电动机，其特征为：在所述第一膜涂层上形成一种金钢石类碳的第二膜涂层。

5.根据权利要求4所述的驱动电动机，其特征为：在所述第二膜涂层中形成一个预定的槽。

6.根据权利要求5所述的驱动电动机，其特征为：所述槽延伸到所述第一膜涂层。

7.根据权利要求4所述的驱动电动机，其特征为：所述的第一膜涂层是5-20μm厚。

8.根据权利要求4或5所述的驱动电动机，其特征为：所述的第二膜涂层是5-10μm厚。