[发明专利]氦气检漏装置

权利要求书

1、氦气检漏装置，其特征在于由真空箱检漏装置，充氦回收装置，氦质谱检漏仪组成，真空箱检漏装置由抽空装置(7)和真空箱(2)组成，充氦回收装置由抽空装置(3)，充氦装置(4)，回收装置(5)，贮存装置(6)组成，被检件(1)与抽空装置(3)连接，存贮装置(6)一路通过充氦装置(4)与被检件(1)连接，另一路通过回收装置(5)与被检件(1)连接，真空箱(2)与抽空装置(7)连接，氦质谱检漏仪(9)有吸枪(11)，真空箱(2)为两个，通过管道网络与上述装置连接。

2、根据权利要求1所述的氦气检漏装置，其特征在于有柜式壳体，壳体内左、右两边各有一个真空箱(2)，真空箱(2)内放置有氦质谱检漏仪(9)，被检件抽空装置(3)由真空泵MU1，电磁阀MV1，BV1，AV1，手动阀AF1，BEl，压力计AP1，BP1组成，由管道连接，充氦装置(4)由贮气箱MO1，手动阀MF1，电磁阀AV2，13V2，压力计AP1，BP1组成，由管道连接，壳体壁有氦气入口与氦气贮罐MO1连接，回收装置(5)由电磁阀AV3，BV3，手动阀MF2，单向阀MF3，气体压缩机MU2组成，由管道连接，存贮装置(6)由手动阀MF2，MF4，MF1，MF6，电磁阀MV3，压力表MP1，氦气贮罐MO1组成，由管道连接，真空箱抽空装置(7)，由真空泵MU3，电磁阀MV2，AV6，BV6，AV8，BV8组成，由管道连接，氦质谱检漏仪9一路通过电磁阀AV4与真空箱(2)连接，另一路通过电磁阀AV5，吸枪(11)与被检件(1)连接。

3、根据权利要求1或2所述的氦气检漏装置，其特征在于由电控系统(8)编定程序实施自动检漏运行控制，人工检漏运行控制，电控系统的单片机由仪表，传感器输入模拟信号(AD信号)，由开关输入开关信号，经单片机与一体化工控机双向通讯处理数据，一体化工控机对执行元件的运行状况，被检工件的质量状况，程序运行状况实施彩显，并将统计整理后的数据用打印机打印存档，单片机输出控制信导到执行元件：电磁阀、泵、压缩机。