[发明专利]角度自动补偿装置

权利要求书

1.一种角度自动补偿装置，包括：封入有用于形成自由液面的透明液体的液体封入容器；使要由前述自由液面反射的光束以确定的角度照射在该自由液面上的第1投射光系统；使设置在前述自由液面另一侧的与前述第1投光系统相对位置处的整个装置在转过90℃时将要由该自由液面反射的光束以确定的角度照射在该自由液面上的第2投射光系统；以及用于将要由前述自由前述自由液面反射的光束进行引导和投影的投影光学系统。

2.如权利要求1所述的角度自动补偿装置，其特征在于还具有可自由转动地设置在液体内、其转动轴线与自由液面大体一致的防止液体摇晃板。

3.一种角度自动补偿装置，它包括：封入有用于形成自由液面的透明液体的封入容器；使要由前述自由液面反射的光束以确定的角度照射在该液面上的投射光系统；在装置倾斜为0°时用于将由自由液面反射的光束进行引导的第1反射部件；以及用于将由前述自由表面反射的光束进行投影的投影光学系统，该投影光学系统具有配置在与前述第1反射部件相对位置处的在装置倾斜为90°时用于将由自由液面反射的光束进行引导的第2反射部件。

4.如权利要求3所述的角度自动补偿装置，其特征在于，它还包括有以可自由转动方式设置在液体内的、其转动轴线与自由液面大体一致的防止液体摇晃板。

5.如权利要求3或权利要求4所述的角度自动补偿装置，其特征在于投影光学系统还具有设置在来自第1反射部件的反射光束和来自第2反射部件的反射光束的交叉位置处的光分束器。

6.如权利要求5所述的角度自动补偿装置，其特征在于，投射光系统是照射具有确定偏光方向偏振光的系统，投影光学系统在包括第1反射部件的光路和包括第2反射部件的光路中的至少一个光路上还具有用于改变偏振光方向的双折射部件，且光分束器为偏振光分束器。

7.一种角度自动补偿装置，它包括封入有用于形成自由液面的透明状液体的液体封入容器，使由前述自由液面反射的光束以确定的角度照射在该自由液面上的投射光系统，用于使前述自由液面反射的光束再次朝向自由液面反射的第1反射部件，配置在与前述第1反射部件相对位置的、用于在装置整体转过90°时将由自由液面反射的光束再次朝向自由液面反射的第2反射部件，以及用于引导由自由液面再次反射后的光束投影的投影光学系统。

8.如权利要求7所述的角度自动补偿装置，其特征在于，它还包括有以可自由转动方式设置在液体内的、转动轴线与自由液面大体一致的防止液体摇晃板。

9.如权利要求7或权利要求8所述的角度自动补偿装置，其特征在于，它设置在用于分离来自投射光系统的光束和来自自由液面的反射光束的投光系统光路上，还设置有光分束器。

10.如权利要求9所述的角度自动补偿装置，其特征在于，其投射光系统为可照射具有确定偏光方向的偏振光系统，在自由液面与第1反射部件间设置有用于改变偏振光方向的双折射部件，在自由液面与第二反射部件间设置有用于改变偏振光方向的双折射部件，且光分束器为偏振光分束器。

11.如权利要求9所述的角度自动补偿装置，其特征在于，其投射光系统为可照射具有确定偏光方向的偏振光的系统，在自由液面与光分束器之间设置有用于改变偏振光方向的双折射部件，且光分束器为偏振光分束器。

12.如权利要求1，3或7所述的角度自动补偿装置，其特征在于，它还具有用于接收从自由液面反射的、穿过针孔的光束的光接收元件，并由光接收元件的光束受光状态来检测装置整体的倾斜是否在限制的范围内。

13.如权利要求2，4或8的角度自动补偿装置，其特征在于，防止液体摇晃板是透明的，并部分沉没在自由液面下，在该防止液体摇晃板上设置有保持水平用的锤。