[发明专利]具有用于阳极和阴极分别再生的反馈通道的湿法处理设备

权利要求书

1．一种湿法处理设备，其特征在于，它包括：

电解槽(1＇)，具有阳极电极(1a)和阴极电极(1b)，用于依靠纯水和电解液中之一进行电解，在所述阳极电极附近产生阳极活化水，在所述阴极电极附近产生阴极活化水；

第一存储槽(11-1)，用于存储所述阳极活化水；

第一处理槽(3′-1，3″-1)，用于接收来自所述第一存储槽的所述阳极活化水，用所述阳极活化水来处理第一工件(303，331)，并使水从其中排出；

第一再生反馈装置(12-1～16-1)，用于再生从所述第一处理槽排出的水，并把再生后的水反馈至所述电解槽的所述阳极电极附近；

第二存储槽(11-2)，用于存储所述阴极活化水；

第二处理槽(3′-2，3″-2)，用于接收来自所述第二存储槽的所述阴极活化水，用所述阴极活化水来处理第二工件(303，331)，并使水从其中排出；

第二再生反馈装置(12-2～16-2)，用于再生从所述第二处理槽排出的水，并把再生后的水反馈至所述电解槽的所述阴极电极的附近。

2．根据权利要求1的设备，其特征在于，所述电解槽包括：

一个槽，分为第一和第二室，分别包围所述阳极电极和所述阴极电极；

第一和第二压力供给装置，利用惰性气体对所述第一和第二室施加压力。

3．根据权利要求1的设备，其特征在于，所述第一和第二存储槽均由氟塑料制成。

4．根据权利要求1的设备，其特征在于，所述第一和第二存储槽均由涂覆金属的石英晶体制成。

5．根据权利要求1的设备，其特征在于，所述第和第二存储槽均包括冷却螺旋管(1103)，用于对所述阳极活化水和所述阴极活化水的每一个分别冷却。

6．根据权利要求1的设备，其特征在于，所述第一和第二存储槽均包括用于使冷却剂从中循环的部件(1112)。

7．根据权利要求1的设备，其特征在于，所述第一和第二存储槽均由遮光材料所覆盖。

8．根据权利要求1的设备，其特征在于，所述第一和第二存储槽均由绝热材料所(1102，1110)覆盖。

9．根据权利要求1的设备，其特征在于，所述第一和第二存储槽均包括使电磁波穿过的窗口(1111)。

10．根据权利要求1的设备，其特征在于，所述第一和第二存储槽均包括封顶容器。

11．根据权利要求1的设备，其特征在于，所述封顶容器具有气体引入装置(1105)，用于引入惰性气体。

12．根据权利要求1的设备，其特征在于，所述第一和第二存储槽均包括液面传感器(S2)，用于检测所述阳极活化水和所述阴极活化水的各自液面。

13．根据权利要求1的设备，其特征在于，所述第一和第二存储槽均包括PH值传感器(S3)，用于检测所述阳极活化水和所述阴极活化水的各自PH值。

14．根据权利要求1的设备，其特征在于，所述第一和第二存储槽均包括氧化还原电势传感器(S4)，用于检测所述阳极活化水和所述阴极活化水的各自氧化还原电势。

15．根据权利要求1的设备，其特征在于，所述第一和第二存储槽均包括颗粒传感器(S5)，用于检测所述阳极活化水和所述阴极活化水的各自颗粒。

16．根据权利要求1的设备，其特征在于，所述第一和第二存储槽均包括温度传感器(S1)，用于检测所述阳极活化水和所述阴极活化水的各自温度。

17．根据权利要求1的设备，其特征在于，还包括：

反馈装置(305，306)，用于过滤所述第一和第二处理槽的所述阳极活化水和所述阴极活化水；

过滤装置(304)，用于把已由所述过滤装置过滤的所述阳极活化水和所述阴极活化水，分别反馈至所述第一和第二处理槽。

18．根据权利要求17的设备，其特征在于，还包括：

温度检测装置(311)，用于检测所述第一和第二处理槽的所述阳极活化水和所述阴极活化水的温度；

控制装置，用于根据所述检测的温度，控制所述反馈装置内的所述阳极活化水和所述阴极活化水的温度。