[实用新型]制备“无缺陷”氮化硅晶须的装置无效
| 申请号： | 94213499.0 | 申请日： | 1994-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN2199219Y | 公开（公告）日： | 1995-05-31 |
| 发明（设计）人： | 徐功骅;池宇峰;张克鋐;吴华武 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C30B29/38 | 分类号： | C30B29/38;C30B29/62 |
| 代理公司： | 清华大学专利事务所 | 代理人： | 罗文群 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 缺陷 氮化 硅晶须 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种制备“无缺陷”氮化硅晶须的装置，其特征在于该设备由高温炉、化学反应器、尾气通道、尾气接收系统和氨气净化系统组成；所述的化学反应器放置在高温炉内；所述的尾气通道将反应器的一端与尾气接收系统相联，尾气接收系统由氯化铵接收器和尾气接收器组成；所述的氨气净化系统净化的氨气通过流量计后，经氨气入口管道进入反应器内。
2、如权利要求1所述的装置，其特征在于其中所述的尾气通道为一圆形管子，管子中由固定架支撑有氨气入口管道和加热管；所述的加热管内设有电热元件。
3、如权利要求1或2所述的装置，其特征在于其中所述的化学反应器为两端敞口的刚玉直管，中间放入刚玉制成的坩埚类反应舟。
4、如权利要求1或2所述的装置，其特征在于其中所述的化学反应器为两端敞口的刚玉弯管，弯管角度可为90°或360°，两个敞口相对位置为垂直方向或同一方向。
5、如权利要求1所述的装置，其特征在于其中所述的尾气通道为一圆形管子，管子中由固定架支撑有氨气入口管，管子外缠绕有电热元件。
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