[发明专利]涂敷－玻璃基片的方法和设备

权利要求书

1.一种将一涂层涂到一运动的热玻璃带的表面上的方法，包括：

a)设置一个横跨待涂玻璃带的宽度延伸的涂料气体分配器；

b)在沿该分配器的长度隔开的两个或更多个供给位置将一包括至少一种气态反应物的气态涂料混合体从集气管供给到所述分配器；

c)将气态涂料混合体从分配器导向运动的热玻璃带的表面上，以在热玻璃表面上形成一个涂层；

d)在横跨所涂宽度的隔开位置检测已涂产品的至少一种光学性质，所述的光学性质随所述涂层的厚度变化而变化；以及

e)根据通过对所述光学性质的测定而检测出的涂层的不佳均匀性，在一个或多个所述隔开的供给位置供给的气态涂料混合体中，有选择地改变所述至少一种气态反应物相对于其它一个或多个所说隔开的供给位置供给的该至少一种气态反应物的浓度，以改善所述均匀性。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述气态涂料混合体由一种或多种气态反应物和一惰性载气组成。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于：通过向在一个或多个所述隔开的供给位置供给的气态反应物混合体增添附加的反应物或惰性气体，有选择地改变所述至少一种气态反应物的浓度。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于：气态涂料混合体借助于一组将所述集气管与气体分配器流体连通的下降管供给到气体分配器，所述下降管沿分配器的长度间隔开，以及根据观察到的欠佳均匀性，将一种或多种反应物或一惰性气体供给到选出的一个或多个位于集气管与分配器之间单独的下降管，以改变流经该选出的一个或多个下降管的气态反应物混合体中的一种或多种反应物相对于流经其它的一个或多个下降管的该种或多种气态反应物的浓度，从而改变在该选出的一个或多个下降管附近的涂层的沉积速率。

5.如前述权利要求4所述的方法，其特征在于：通过检测反射的颜色来间接地确定涂层的厚度。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于：通过检测玻璃侧反射的颜色来间接地确定涂层的厚度。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于：通过检测玻璃侧反射颜色的b^*成分来间接地确定涂层的厚度。

8.如述权利要求1所述的方法，其特征在于：通过检测涂过的玻璃带的透射系数来间接地确定涂到该玻璃带上的涂层的厚度。

9.如权利要求5所述的方法，其特征在于：中用一光度计检测反射的颜色。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于：用一外形扫描光度计检测反射的颜色。

11.如权利要求1所述的方法，其特征在于：借助于一质量流量控制器将一种或多种气态反应物或一惰性气体供给到一个或多个隔开的供给位置。

12.如权利要求4所述的方法，其特征在于：所述的一种或多种反应物或一种惰性气体借助于一质量流量控制器供给到一个或多个下降管。

13.如权利要求12所述的方法，其特征在于：将一种或多种气态反应物供给到一区域附近一个或多个下降管，在该区域观察到沉积涂层的厚度比其它区域观察到的涂层厚度要薄。

14.如权利要求12所述的方法，其特征在于：将一惰性气体供给到一区域附近的一个或多个所述的下降管，在该区域观察到沉积涂层的厚度比其它区域观察到的涂层厚度要厚。

15.如权利要求4所述的方法，其特征在于：借助所述下降管将包括一四卤化钛，一还原剂和一惰性载气的气态混合体供给到气体分配器。

16.如权利要求4所述的方法，其特征在于：借助所述的下降管将包括在作为隋性载气的氦中的四氯化钛和氨的气态混合体供给到气体分配器。

17.如权利要求1所述的方法，其特征在于：用一个与设置来检测所述光学性质的检测装置连接的可编程控制器控制有选择的改变。