[发明专利]感光成象组合物和涂覆该组合物的干片无效
| 申请号: | 94118621.0 | 申请日: | 1994-11-21 |
| 公开(公告)号: | CN1072812C | 公开(公告)日: | 2001-10-10 |
| 发明(设计)人: | 鲁贝脱·K·巴尔;基因A·梯利科 | 申请(专利权)人: | 莫顿国际股份有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/075 | 分类号: | G03F7/075 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 吴惠中 |
| 地址: | 美国伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 感光 成象 组合 | ||
本发明涉及那些用于制造印刷线路版的光刻胶,而更具体地涉及那些水性的、以液体使用的光刻胶。作为抗蚀剂的可感光成象的组合物用于制造印刷线路、印刷板,焊料蒙版等,至今已使用了一段时间。最早的光刻胶是带溶剂的并可用溶剂显影的。在减少溶剂在工作场所和周围环境的直接散发方面,水性可显影的抗蚀剂的开发标志了一种工作。持续对减少工作场所和周围环境中的有机溶剂的强调,促进了对水性光刻胶在配方和作为水溶液应用方面的研究。
美国专利U.S 5,045,435报导一种可在碱性水溶液内显影的水性光刻胶组合物,在此作为参考。该组合物包括多官能团单体,光引发剂和水不溶性的羧化的丙烯酸共聚物胶乳。为了使该组合物稳定并调节其粘度,该专利指出用诸如:氨、其他的胺或氢氧化钠等一种碱类中和至少25%的胶乳聚合物。
为了精确地复制具有高分辨的原图的图形,通常需将原图直接放在可感光成象的组合物层上进行接触印刷。接触印刷要求能满足小的(小于3mil)布线分辨率。然而,如果采用接触印刷,该可感光成象的组合物层必须是充分地非粘性的表面以使其不会粘着原图。即使些微可感光成象的组合物的脱落就会产生永久性的损害否则就需要彻底地清洁该原图。
本发明的总的目的是提供一种水性可感光成象的组合物,在将它用作表面层时,对要放在其上面直接接触的原图,它是完全不粘着的。
按照本发明,一种水性可感光成象的组合物包括一种含水组合物,它含有(A)约30-80%重量的具有酸官能度的胶乳粘合剂聚合物,例如,羧酸官能度或磺酸官能度,其酸值约在50-250之间,(B)约15-50%重量的α-、β-乙烯链的不饱和单体,(C)约0.1%-25%重量的光引发剂或能产生游离基的光引发剂化学品体系;(D)约在1~40%重量中和碱和/或的聚醚和聚氨酯组合的增稠剂其含量足以使该可感光成象的组合物成为稳定的乳液;以及(E)约在0.1-10.0%重量的(聚)硅氧烷或(聚)硅氧烷类混合物,其重量百分数为以组分A-E总重为基准。
用于本发明的胶乳粘合剂聚合物典型地是通过α-、β-不饱和单体诸如:乙烯基、丙烯酸酯或苯乙烯单体的乳液聚合来制备的。为了提供约50-250,较佳地至少约100的酸值采用足够的酸性官能团的单体。典型的乳液聚合过程和一些合适的乳液的例子在美国专利U.S.3,929,743中已有叙述,现结合在此作为参考。合适的乳液也可从商业上得到,如:NeocrylR CL-340 C 40%固体)可从ICIResins U.S.公司购买到,AcrysolR I-2074(46%固体)可从Rhom和Haas公司购买到。
用于制造酸官能团的粘合剂聚合物的合适的酸官能团的单体具有如下结构式:式中R1代表氢原子或甲基,R2代表(CH2)n,其中n为1-6的整数,R3代表具有1-6个碳原子的亚烷基或亚苯基,以及R4为相同的或不相同的选自CH2和CH2OH的基团。
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