[发明专利]扩散形成图案法及所用的丝网

权利要求书

1.一种在有机薄膜中形成图案的方法，包括顺序如下的步骤：

a)使用具有许多各边凹进的多边形网孔的丝网，用丝网印刷法按预定的图案涂敷其中含有一种试剂的成像层，该试剂能改变与所述成像层接触的至少一个无图案层中固体有机聚合物的溶解度，从而在基底上形成所编排的坯体，

b)将无图案层在预定温度下干燥，以便使所述溶解度改变剂从成像层扩散到无图像层，和

c)用预定的洗脱剂洗涤上述编排好的坯体，除掉成图案的成像层和无图案层中扩散形成图案的区域，它们均溶于预定的洗脱剂中。

2.权利要求1的方法，其中所述编排好的坯体含有至少两个成像层，用于丝网印刷上面成像层的网孔比下面成像层的小。

3.一种在有机薄膜中形成图案的方法，其中包括顺序如下的步骤：

a)使用具有许多组合网孔的丝网，用丝网印刷法按预定图案涂敷其中含有一种试剂的成像层，该试剂能改变与所述成像层接触的至少一个无图案层中固体有机聚合物的溶解度，从而在基底上形成编排好的坯体，所述的组合网孔由分离的尺寸较小的且有预定间隔的网孔组成，用此丝网将所述膏将印刷到底层上，以便形成一个代表各个组合网孔的整体图像；

b)将无图案层在预定的温度下完全干燥或部分干燥，以便使溶解度改变剂由成像层扩散到无图案层中，和

c)用预定的洗脱剂洗涤编排好的坯体，除掉成图案的成像层和无图案层中的扩散形成图案区域，它匀均溶于预定的洗脱剂中。

4.一种丝网，它包括一个刚性框架、牢固地固定在框架上的筛网和乳剂层，该乳剂层形成许多的多边形，而多边形的一边的各几何边界是由连接相邻多边形的多个边的直线向里凹进的。

5.权利要求4的丝网，其中多边凹进程度是通过乳剂层的流变性质而控制的。

6.权利要求4的丝网，其中多边形是正方形，而该边是四个会切点的圆内旋轮线。

7.权利要求4的丝网，它还包含一个带有乳剂层的金属模版，该乳剂层形成许多的多边形，而多边形的一边的各几何边界是由连接相邻多边形的多个边的直线向里凹进的。

8.权利要求4的丝网，它还包含一个金属模版。