[发明专利]一种不锈钢超微精细电化学蚀刻方法无效
| 申请号： | 94115524.2 | 申请日： | 1994-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN1049257C | 公开（公告）日： | 2000-02-09 |
| 发明（设计）人： | 何积铨;谢建辉;吴荫顺;方智;张琳;曹备 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | C25F3/06 | 分类号： | C25F3/06;C25F3/14 |
| 代理公司： | 北京科技大学专利代理事务所 | 代理人： | 杨玲莉 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 不锈钢 精细 电化学 蚀刻 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种不锈钢超微精细电化学蚀刻方法，包括绘制蚀刻图案、制备照像底片、涂布光刻胶、曝光、显影、修补、蚀刻、去膜、清洗工序，其特征在于，配制蚀刻液，其成分为10～15％(重量百分比浓度)FeCl31000ml，HCl 40～50ml，HNO3 150～200ml，K2Cr2O7在蚀刻液中的重量百分比为0.5～1.0％，将经过图案感光处理的不锈钢试件放入蚀刻液中，先以0.5～1.0A/cm2的电流密度进行阴极极化5～10分钟，再以0.2～0.5A/cm2的电流密度进行阳极极化20～30分钟，辅助电极为试件面积同样大小的不锈钢电极。
2.如权利要求1所述的蚀刻方法，其特征在于，蚀刻过程中要用搅拌器不断搅拌蚀刻液。
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