[发明专利]制造烟化二氧化硅的方法

权利要求书

1．制备烟化二氧化硅聚集体的方法，所述烟化二氧化硅聚集体的表面积在75-500m²/g范围内、平均外凸周长在约0.12μm至0.60μm范围内，该方法包括将气态可燃混合物送入燃烧室中，以产生具有1400℃至2000℃预定绝热火焰度的火焰，所述气态可燃混合物包括选自硅烷、有机硅烷的硅化合物或其混合物以及充分的氧，其中基于硅化合物与以下列方式之一混合的元素的可燃混合物的总摩尔数计算，所述气态可燃混合物包括大约0.05至2.5mol％的硅化合物，所述元素混合物选自

(a)氧气和氢气的混合物，

(b)氧气、氢气和氮气的混合物。

2．根据权利要求1的方法，其中在进料混合物中所使用的硅化合物是甲基三氯代硅烷。

3．根据权利要求1的方法，其中所述硅化合物混合物是甲基三氯代硅烷、氢气和空气的混合物。

4．根据权利要求1的方法，其中所制备的烟化二氧化硅的外凸周长约为0.38μm。

5．根据权利要求1的方法，其中所述气态可燃混合物主要由约60％(重量)的(CH₃)₃SiCl₃和约40％(重量)的SiHCl₃(共占混合物的1.3至1.5mol％)以及55至70mol％氮、15至20mol％氧和大约10至25mol％氢组成。