[发明专利]光掩模板

权利要求书

1、一种用于选定波长的透光埋置的相移器光掩模板，其包括一个具有至少0.001透光度的光学不均匀衰减薄膜，并且基本上由金属组分和电介质组分组合而成；其中薄膜的一个表面具有比另一表面较高含量的金属组分，贯穿整个薄膜厚度，消光系数变化的分布呈缓变状态；选择所述的变化的分布和薄膜厚度，在选定波长的情况，提供大约180°或者其奇数倍的相移。

2、根据权利要求1的透光埋置相移器光掩模板，其中相移大约是180°。

3、根据权利要求2的透光埋置相移器光掩模板，其中反射率是在0到0.5范围内。

4、根据权利要求3的透光埋置相移器光掩模板，其中金属组分是薄膜体积的85%到5%，而其中的电介质组分是薄膜体积的15%到95%。

5、根据权利要求1、2、3或4的透光埋置相移器光掩模板，其中选定的波长是110nm到1000nm。

6、根据权利要求5的透光埋置相移器光掩模板，其中金属组分和电介质组分是M-O-C-N材料，M-Cl-O-C-N材料，M-Cl-F-O-C-N材料，或者M-F-O-C-N材料，其中M是选自由Cr，Fe，Mo，Zn，Co，Nb，Ta，W，Ti，Al，Mg和Si组成的一组材料。

7、根据权利要求6的透光埋置相移器光掩模板，其中M是Cr。

8、根据权利要求7的透光埋置相移器光掩模板，其中金属组分和电介质组分是Cr-O-C-N材料。