[发明专利]改进的高容量吸气泵

权利要求书

1.一种适于产生和维持真空的改进后的高容积吸气泵，包括许多由不可蒸发的吸收材料所制成的多孔热烧结叶片，且具有：

i)第一主表面；

ii)与所述第一主表面平行且相间距离为0.5-5.0mm的第二主表面；

其中，将所述叶片布置于一个壳体中并由一条空气通道相互隔开，相邻叶片的相邻面相互隔开的距离为0.5-10mm。

2.如权利要求1所述的泵，其特征在于，将所述叶片沿径向设置，从而以其内端围绕着泵的对称纵向轴构成一条内通道，其上还包括一个加热器和一个与所述壳体相连的固定法兰盘。

3.如权利要求2所述的泵，其特征在于，所述多孔热烧结叶片具有平面，凹面和上述两者之组合的形状，所述叶片的轴线与穿过所述的泵的纵向轴线的每一片叶片轴向平面形成一个角度。

4.如权利要求1所述的泵，其特征在于，所述多孔热烧结叶片的密度从1至5g/cm³，表面积为0.05至1m²/g。

5.如权利要求1所述的泵，其特征在于，所述不可蒸发的吸气材料从锆，钛，铪，钽，钍，铀，铌及其混合物和/或合金和/或与其它金属的合金中选出，所述金属随机地与抗热烧结剂相混合。

6.如权利要求5所述的泵，其特征在于，所述不可蒸发的吸气金属从下述物质中选出：

a.Zr-V-Fe合金；

b.Zr-T-Fe合金；

随机地与单独的Zr和单独的Ti相结合，随机地取氢化锆和氢化钛的形式。

7.如权利要求6所述的泵，其特征在于，所述不可蒸发的吸气金属是从以下物质中所获得的组合物：

I)一种三种粒子的Zr-V-Fe的不可蒸发的吸气合金具有一种组合物(按重量)，在绘制一张三相图时，该组合物处于一个拐点在下述点上的多边形之中(按重量)：

a)75％Zr-20％V-5％Fe；

b)45％Zr-20％V-35％Fe；

c)45％Zr-50％v-5％Fe。

II)一种从Zr和Ti中选出的不可蒸发的吸气金属粒子，其中Zr和/或Ti颗粒的平均颗粒度小于合金颗粒的平均颗粒度。

8.一种用于制造根据权利要求6的泵的多孔热烧结叶片的方法，其中：

-以合金颗粒的松散颗粒的形式制备所述的吸气金属，所述金属颗粒随机地与单独的Zr颗粒和/或Ti颗粒和一种膨胀剂相混合；

-所述膨胀剂是一种无机或有机盐，其中包括氮和/或磷，这种盐在热烧结温度下完全分解，且最好由尿素，偶氮二酰胺和氨基甲酸酯中选出；

-将所述松散颗粒装入一个模子并在700至1200℃温度下烧结，其中，

-所述合金颗粒的预烧结表面等于或高于0.15m²/g，预烧结颗粒度至400μm，所说的Zr和/或Ti颗粒的平均颗粒度为1至55μm，其中合金颗粒和所述Zr和/或Ti颗粒的重量比是10∶1至1∶1。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述的膨胀剂是氨基甲酸铵，其中氨基甲酸酯按重量计相对所述不可蒸发的吸气金属为0.1至15％。

10.一种方法，用于在装置和/或设备中产生和/或保持真空，以求将其保持在真空状况之下，尤其是将其保持在等于或高于10¹⁶和甚至于10^-12毫巴(mbar)的真空状况之下，其特征在于，将所述的装置和/或设备连接或固定于权利要求1中的改进的高容量吸气泵上。

11.如权利要求10所述的方法，其特征在于，从下述设备中选出所述装置和/或设备：

-真空容器，例如用于传送液体的管路的杜瓦或真空盒；

-超高真空腔；

-粒子加速器。